[发明专利]信息处理装置、信息处理方法、物品制造系统和方法在审

申请号：	202210113176.2	申请日：	2022-01-30
公开（公告）号：	CN114859665A	公开（公告）日：	2022-08-05
发明（设计）人：	藤原广镜	申请（专利权）人：	佳能株式会社
主分类号：	G03F7/20	分类号：	G03F7/20
代理公司：	中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038	代理人：	宋岩
地址：	日本***	国省代码：	暂无信息
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摘要：
搜索关键词：	信息处理装置方法物品制造系统
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【说明书】：

公开了信息处理装置、信息处理方法、物品制造系统和方法。信息处理装置包括：取得单元，被配置成取得如下信息，该信息包括在第一定时处由被配置成执行基板处理的基板处理装置对基板进行处理的处理结果，与在第一定时之后的第二定时处在基板处理装置中发生的事件有关的事件信息，以及在第二定时之后的第三定时处由基板处理装置对基板进行处理的处理结果；以及显示控制单元，被配置成基于由取得单元取得的信息执行控制以使得显示设备显示包括在第一定时处的处理结果和在第三定时处的处理结果的处理结果的按时间顺序排列的图表，其中，显示控制单元执行控制以在图表上以叠加方式显示指示出第二定时的信息。

技术领域

本公开涉及信息处理装置、信息处理方法、物品制造系统和物品制造方法。

背景技术

在半导体制造工厂中，通常安装了诸如用于处理基板的基板处理装置之类的多个半导体制造装置，并且期望对每个装置的操作状态的准确确定以及基于该确定的有效的基板处理。此外，期望迅速地解决在半导体制造装置中发生的异常。

日本专利申请特许公开No.2009-170612讨论了用于检测在半导体制造装置中的异常的技术。具体而言，针对包括多个基板的每个批次统计地处理半导体制造装置的处理结果，并且显示统计处理结果的图表。这有助于对发生了异常的批次的迅速识别，并且用户能够迅速地执行用于将半导体制造装置恢复到正常状态的操作。

虽然基于统计处理结果能够确定发生了异常的批次，但是难以确定异常的原因。例如，难以立即确定是由装置的操作引起了异常还是由装置随时间的改变引起了异常。因此，解决异常需要花费很长时间。

发明内容

根据本发明的一方面，信息处理装置包括：取得单元，被配置成取得如下信息，该信息包括在第一定时处由被配置成执行基板处理的基板处理装置对基板进行处理的处理结果，与在第一定时之后的第二定时处在基板处理装置中发生的事件有关的事件信息，以及在第二定时之后的第三定时处由基板处理装置对基板进行处理的处理结果；选择单元，被配置成选择在基板处理装置中发生的事件；以及显示控制单元，被配置成基于由取得单元取得的信息执行控制以使得显示设备显示包括在第一定时处的处理结果和在第三定时处的处理结果的处理结果的按时间顺序排列的图表，其中，显示控制单元执行控制以在图表上以叠加方式显示如下信息，该信息指示出由选择单元选择的事件的发生定时。

本发明的进一步特征将根据以下(参考附图)对示例性实施例的描述变得清楚。

附图说明

图1是图示出物品制造系统的图。

图2是图示出作为图案形成装置的示例的曝光装置的图。

图3是图示出信息处理装置的硬件配置的图。

图4是图示出管理装置的中央处理器(CPU)的配置的图。

图5是图示出在显示设备上的显示处理的流程图。

图6是图示出在相同区域中显示不同配方(recipe)的批次数据的图表的图。

图7是图示出叠加在相同区域中显示不同配方的批次数据的图表上的事件线的图。

图8是图示出在不同区域中显示不同配方的批次数据的图表的图。

图9是图示出叠加在不同区域中显示不同配方的批次数据的图表上的事件线的图。

图10是图示出在不同区域中显示不同配方的批次数据的图表的图。