[发明专利]模块移入移出装置在审
申请号: | 202210115654.3 | 申请日: | 2022-02-07 |
公开(公告)号: | CN114406942A | 公开(公告)日: | 2022-04-29 |
发明(设计)人: | 侯得锋;赵宏宇;李龙飞;刘阳;杨师 | 申请(专利权)人: | 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) |
主分类号: | B25B27/00 | 分类号: | B25B27/00 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 严小艳 |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 模块 移入 移出 装置 | ||
1.一种模块移入移出装置,其特征在于,包括驱动机构、配合座、端盖以及连接件;
所述配合座与所述模块相连接,且沿所述配合座的轴向形成有贯通所述配合座两端的贯通部;
所述端盖封堵于所述贯通部的顶端,所述驱动机构包括驱动件和连接轴,所述连接轴沿竖直方向延伸,所述连接轴的一端与所述驱动件的驱动端转动连接,另一端由所述贯通部的底端进入所述配合座,所述驱动件能够驱动所述连接轴在竖直方向运动,以带动所述模块与所述模块的承载平台相分离;
所述连接件的一端穿过所述端盖与所述连接轴远离所述驱动件的一端相连接。
2.根据权利要求1所述的模块移入移出装置,其特征在于,还包括对准机构;
所述对准机构包括对准座和校准件,所述校准件与所述模块相连接,所述对准座设置于所述承载平台上,且所述对准座上形成有对准部,所述校准件与所述对准部相对位,以校准所述模块相对所述承载平台的位置。
3.根据权利要求2所述的模块移入移出装置,其特征在于,所述对准部的截面呈漏斗形结构,所述校准件朝向所述对准部的一侧呈弧形。
4.根据权利要求1所述的模块移入移出装置,其特征在于,所述连接轴远离所述配合座的一端形成有容纳槽,所述容纳槽内设有轴承,所述驱动件的驱动端插入所述容纳槽与所述轴承的内环相连接,所述轴承的外环与所述轴承轴相连接。
5.根据权利要求4所述的模块移入移出装置,其特征在于,所述容纳槽内还设有弹性件,所述弹性件将所述轴承抵接于所述容纳槽的底部。
6.根据权利要求4所述的模块移入移出装置,其特征在于,所述轴承为调心推力球轴承。
7.根据权利要求1所述的模块移入移出装置,其特征在于,所述驱动机构还包括导向组件,所述导向组件沿竖直方向延伸,且所述导向组件包括直线轴承和轴承座,所述直线轴承套设于所述连接轴的外部,且设置于所述轴承座内。
8.根据权利要求7所述的模块移入移出装置,其特征在于,所述轴承座上开设有导向槽,所述导向槽内设有导向件,所述导向件的一端与所述连接轴相连接。
9.根据权利要求8所述的模块移入移出装置,其特征在于,所述导向槽包括第一槽段和第二槽段,所述第一槽段沿竖直方向延伸,所述第二槽段沿所述轴承座的周向延伸;
所述第一槽段的一端与所述第二槽段的一端相连通,所述导向件能够沿所述第一槽段和所述第二槽段移动。
10.根据权利要求9所述的模块移入移出装置,其特征在于,所述第二槽段与所述第一槽段相连通的一端设有限位件,所述限位件能够开启或阻断所述第一槽段和所述第二槽段的连通位置,以控制所述导向件在所述第一槽段和所述第二槽段内的移动。
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