[发明专利]长晶炉的管理方法和系统在审

专利信息
申请号: 202210122897.X 申请日: 2022-02-09
公开(公告)号: CN114561702A 公开(公告)日: 2022-05-31
发明(设计)人: 滑喜宝 申请(专利权)人: 新疆蓝晶新材料科技有限公司;北京远大信达科技有限公司
主分类号: C30B29/20 分类号: C30B29/20;C30B35/00;F27D21/02
代理公司: 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 代理人: 张岩龙
地址: 843004 新疆维吾尔自治区阿克苏地区*** 国省代码: 新疆;65
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摘要:
搜索关键词: 长晶炉 管理 方法 系统
【权利要求书】:

1.一种长晶炉的管理系统,其特征在于,所述系统包括:一个或多个长晶炉控制设备,图像采集设备、数据处理设备以及一个或多个终端,其中,所述图像采集设备与所述一个或多个长晶炉控制设备连接,所述数据处理设备分别与所述一个或多个长晶炉控制设备和所述一个或多个终端连接;其中,每个终端对应至少一个所述长晶炉控制设备;

所述图像采集设备,用于获取长晶炉中晶体的图像信息,并将所述图像信息发送至所述长晶炉控制设备;

所述长晶炉控制设备,用于接收所述图像采集设备发送的图像信息,并获取所述长晶炉的生产状态信息,并将所述图像信息和所述生产状态信息发送至所述数据处理设备;

所述数据处理设备,用于接收所述图像信息和所述生产状态信息,并从所述一个或多个长晶炉控制设备中确定第一目标控制设备,所述第一目标控制设备为发送所述图像信息和所述生产状态信息的长晶炉控制设备,并从所述一个或多个终端中确定所述第一目标控制设备对应的目标终端,并将所述图像信息和所述生产状态信息发送至所述目标终端;

所述终端,用于在接收到所述图像信息和所述生产状态信息的情况下,展示所述图像信息和所述生产状态信息。

2.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,

所述终端,还用于响应于接收到用户触发的长晶炉控制指令,将所述长晶炉控制指令发送至所述数据处理设备;

所述数据处理设备,还用于在接收到所述长晶炉控制指令的情况下,根据所述长晶炉控制指令从所述一个或多个长晶炉控制设备中确定第二目标控制设备,并将所述长晶炉控制指令发送至所述第二目标控制设备;

所述长晶炉控制设备,还用于在接收到所述长晶炉控制指令的情况下,根据所述长晶炉控制指令控制所述长晶炉。

3.根据权利要求2所述的系统,其特征在于,所述长晶炉包括用于引晶的籽晶杆;

所述长晶炉控制设备,用于根据所述长晶炉控制指令控制所述籽晶杆旋转和/或升降。

4.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述长晶炉包括用于观察所述晶体的观察孔,所述图像采集设备,用于通过所述观察孔获取所述图像信息。

5.根据权利要求4所述的系统,其特征在于,所述图像采集装置包括一个或多个,

所述终端,还用于响应于接收到用户触发的图像控制指令,将所述图像控制指令发送至所述数据处理设备;

所述数据处理设备,还用于根据接收到的所述图像控制指令从一个或多个图像采集设备中确定待控制的目标图像采集设备,并根据所述图像控制指令控制所述目标图像采集设备采集所述图像信息,或者,停止采集所述图像信息。

6.根据权利要求5所述的系统,其特征在于,所述长晶炉还包括用于遮挡所述观察孔的遮挡装置和气冷装置;所述遮挡装置和所述气冷装置分别与所述长晶炉控制设备连接;

所述长晶炉控制设备,还用于在根据所述图像控制指令控制所述图像采集设备采集所述图像信息的情况下,控制所述气冷装置向所述观察孔所在位置吹气,以及控制所述遮挡装置关闭,以暴露出所述观察孔,并在根据所述图像控制指令控制所述图像采集设备停止采集所述图像信息的情况下,控制所述气冷装置停止吹气,以及控制所述遮挡装置开启,以遮挡所述观察孔。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的系统,其特征在于,所述数据处理设备,用于获取所述图像信息和所述生产状态信息中携带的设备标识信息,所述设备标识信息用于标示长晶炉控制设备,将所述设备标识信息标示的长晶炉控制设备作为第一目标控制设备,并通过预设设备对应关系,从所述一个或多个终端中确定所述第一目标控制设备对应的目标终端,所述预设设备对应关系包括所述长晶炉控制设备和所述终端的对应关系。

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