[发明专利]一种碳化硅金属线专用收卷装置在审

专利信息
申请号: 202210123203.4 申请日: 2022-02-10
公开(公告)号: CN114572764A 公开(公告)日: 2022-06-03
发明(设计)人: 张启东;朱友明;王亮 申请(专利权)人: 浙江瑞度新材料科技有限公司
主分类号: B65H54/40 分类号: B65H54/40;B65H54/70
代理公司: 嘉兴尚正专利代理事务所(普通合伙) 33467 代理人: 郝艳平
地址: 314001 浙江省嘉兴*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 碳化硅 金属线 专用 装置
【说明书】:

发明公开了一种碳化硅金属线专用收卷装置,包括支撑板,所述支撑板底端对称转动连接有两个支轮,两个所述支轮的上方安装有涨紧机构,所述涨紧机构的上方设置有收卷轮,所述支撑板远离所述收卷轮的一侧固定有主电机,所述主电机的输出轴贯穿所述支撑板且末端与所述收卷轮固定连接,所述涨紧机构和一个所述支轮之间设置有揉搓机构。本发明中,揉搓机构通过两个揉搓辊将切割线表面的切割碎屑粘附,并由喷水管冲洗清理,可以防止收卷辊打滑,同时提高切割线的切割效率。

技术领域

本发明涉及碳化硅金属线专用收卷设备的技术领域,尤其涉及一种碳化硅金属线专用收卷装置。

背景技术

在制造各种半导体、光伏器件时,将包含硅、蓝宝石、或陶瓷等硬脆材料的半导体工件切割作业为要求厚度尺寸的晶片。由于晶片切割是制约后续成品的重要工序,因而对其作业要求也越来越高。目前,线切割技术由于具有生产效率高、作业成本低、作业精度高等特点,被广泛应用于产业的晶体切割生产中。

如公开号为:CN112388851A线切割装置,带有单线线锯与多线线锯的切割系统,可以解决获取样片精度难以控制、获取样片造成硅棒物料浪费且降低截断效率,使得企业生产效率与经济效率低下的问题,但是也存在如下不足:切割线在反复循环锯切棒料过程中会粘附棒料碎屑,使得切割线变得光滑,切割效率下降。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的切割线在反复循环锯切棒料过程中会粘附棒料碎屑,使得切割线变得光滑,切割效率下降的缺点,而提出的一种碳化硅金属线专用收卷装置。

为了实现上述目的,本发明采用了如下技术方案:一种碳化硅金属线专用收卷装置,包括支撑板,所述支撑板底端对称转动连接有两个支轮,两个所述支轮的上方安装有涨紧机构,所述涨紧机构的上方设置有收卷轮,所述支撑板远离所述收卷轮的一侧固定有主电机,所述主电机的输出轴贯穿所述支撑板且末端与所述收卷轮固定连接,所述涨紧机构和一个所述支轮之间设置有揉搓机构;

所述揉搓机构包括两个揉搓辊、两个滑杆、摆杆、支杆、圆盘、凸台和副电机,两个所述揉搓辊分别与两个所述滑杆的一端转动连接,两个所述滑杆的另一端分别贯穿所述支撑板且末端分别通过滑台与所述摆杆的长腰孔滑动连接,两个所述滑杆分别与所述支撑板滑动连接,所述支杆的一端与所述支撑板固定连接,所述支杆的另端与所述摆杆转动连接,所述副电机通过支架安装在所述支撑板靠近所述摆杆的一侧,所述圆盘固定在所述副电机的输出轴上,所述凸台固定在所述圆盘的边缘处,所述凸台滑动穿插在所述摆杆的滑槽里。

优选地,所述涨紧机构包括两个涨紧轮、两个涨紧杆、扭力弹簧和导杆,所述导杆固定在所述支撑板上,两个所述涨紧杆的一端依次转动套设在所述导杆的外表面,所述扭力弹簧分别位于两个所述涨紧杆之间且两端分别两个涨紧杆的表面相贴合,两个所述涨紧轮分别转动连接在两个所述涨紧杆的另一端。

优选地,所述收卷轮、两个所述涨紧轮和两个所述支轮的轮槽里滚动连接有切割线,所述切割线分别从两个揉搓辊之间穿过。

优选地,两个所述涨紧轮在水平面上呈前后错位布置,所述切割线在所述收卷轮的轮槽里缠绕若干圈。

优选地,两个所述揉搓辊的上方设置有喷水管,所述喷水管安装在所述支撑板上。

优选地,两个所述揉搓辊和所述收卷轮均采用橡胶材质。

优选地,所述主电机带动所述收卷轮逆时针旋转。

本发明具有如下有益效果:

该碳化硅金属线专用收卷装置,通过设置的揉搓机构,副电机带动圆盘旋转,通过凸台在摆杆的滑槽里滑动,拉动摆杆围绕支杆的末端往复摆动,并推动两个滑杆分别带动两个揉搓辊相互往复揉搓,使得穿插在两个揉搓辊之间的切割线表面的切割碎屑被粘附剥离,从而提高切割线的切割效率。

附图说明

图1为本发明的正视图;

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