[发明专利]一种平面度测量装置及测量方法

权利要求书

1.一种平面度测量装置，其特征在于，包括从上向下依次连接的测距仪(18)、支撑部和底座，所述支撑部包括旋转平台(4)和支撑杆(13)，所述旋转平台(4)位于所述支撑杆(13)的上方，所述旋转平台(4)可旋转地安装在所述测距仪(18)和所述支撑杆(13)之间，所述支撑杆(13)的下端与所述底座连接。

2.如权利要求1所述的平面度测量装置，其特征在于，所述旋转平台(4)包括旋转座和测距仪紧固螺丝(5)，所述测距仪紧固螺丝(5)位于所述旋转座上方并与所述旋转座连接，所述旋转座的底部开设旋转槽(6)，所述旋转座的侧壁开设旋转平台紧固孔(7)，所述旋转平台紧固孔(7)与所述旋转槽(6)连通。

3.如权利要求2所述的平面度测量装置，其特征在于，所述支撑杆(13)包括支撑平台(15)和中间支撑柱，所述支撑平台(15)位于所述中间支撑柱的上方并与所述中间支撑柱连接。

4.如权利要求3所述的平面度测量装置，其特征在于，所述支撑部还包括上支撑盘(9)、下支撑盘(11)和旋转平台紧固调节螺丝(8)，所述上支撑盘(9)和所述下支撑盘(11)上各开设一通孔，分别为上支撑盘通孔(10)和下支撑盘通孔(12)，所述上支撑盘(9)位于所述测距仪(18)和所述旋转座之间，所述下支撑盘(11)位于所述旋转座和所述中间支撑柱之间，通过将所述旋转平台紧固调节螺丝(8)旋进所述旋转平台紧固孔(7)中实现对所述旋转平台(4)的固定。

5.如权利要求4所述的平面度测量装置，其特征在于，所述上支撑盘(9)和所述下支撑盘(11)的形状均为圆形，所述上支撑盘通孔(10)位于所述上支撑盘(9)的中心位置，所述下支撑盘通孔(12)位于所述下支撑盘(11)的中心位置，所述支撑平台(15)的形状呈圆柱体。

6.如权利要求3所述的平面度测量装置，其特征在于，所述底座为V型磁铁(16)，所述V型磁铁(16)的一侧设有磁性开关(17)。

7.利用如权利要求4所述的平面度测量装置测量平面度的方法，其特征在于，测量平面度时需借助带有刻度的读数装置(3)，该测量方法具体包括以下步骤：

步骤1：放置，将平面度测量装置(2)的底座固定放置在待测物平台(1)上的中间区域，在待测物平台(1)上的边缘区域放置读数装置(3)；

步骤2：定位，打开测距仪(18)，从旋转平台紧固孔(7)中旋出旋转平台紧固调节螺丝(8)，通过旋转槽(6)使旋转平台(4)沿着支撑平台(15)转动，使测距仪(18)发出的激光点落在读数装置(3)上，然后旋进旋转平台紧固调节螺丝(8)固定旋转平台(4)；

步骤3：测量，读取和记录步骤2中激光点落在读数装置(3)上的刻度值，然后，将读数装置(3)放置在待测物平台(1)上的其他边缘区域位置，并读取和记录激光点落在读数装置(3)上的刻度值。

8.如权利要求7所述的测量平面度的方法，其特征在于，在所述步骤1前还包括步骤0，水平调整，具体的步骤如下：

步骤01：偏差测量，将平面度测量装置(2)放置在精密平板的中间区域，读数装置(3)分别放置在精密平板边缘的四个方位，通过转动旋转平台(4)分别读取和记录激光点落在读数装置(3)在四个方位上的刻度值，得到测距仪(18)的水平偏差；

步骤02：修磨，取下旋转平台(4)和测距仪(18)，对支撑平台(15)的上表面进行修磨；

步骤03：水平校准，修磨后装上旋转平台(4)和测距仪(18)，按照步骤01和步骤02的方法进行操作，直至测距仪(18)发出的激光点落在各个方位读数装置(3)上的读数相等。