[发明专利]光器件和光收发器

说明书

本申请涉及光器件和光收发器。一种光器件包括基板(W)、RF调制单元和相位调整单元(220)。RF调制单元设置在基板(W)上，并根据RF信号来调制光。相位调整单元(220)设置在基板(W)上，并且调整由RF调制单元调制的光信号的相位。相位调整单元(220)包括加热器(2200)和待加热光波导(2201)。待加热光波导(2201)设置在基板(W)的薄膜LN基板(32)和缓冲层(33)之间，由具有热光效应的材料形成。加热器(2200)在基板(W)上设置在与待加热光波导(2201)相对的位置处，缓冲层(33)位于加热器(2200)与待加热光波导(2201)之间，并且加热器(2200)对待加热光波导(2201)进行加热。

技术领域

本文讨论的实施方式涉及光器件和光收发器。

背景技术

例如，在下述专利文献1中，公开了使用铌酸锂(LiNbO₃；LN)的马赫-曾德耳(Mach-Zehnder)光调制器。在这种类型的光调制器中，在缓冲层上设置LN膜，在LN膜上设置缓冲层，并且在缓冲层上设置信号电极。然后，在LN膜上形成具有脊部结构的光波导(即，薄膜LN光波导)，并且通过经由信号电极提供的电信号来调制传播通过薄膜LN光波导的内部的光。

引用列表

专利文献

专利文献1：日本特开2020-20953号公报

发明内容

技术问题

附带地，在用于RF调制的电极和相位调整的电极二者处，通过向每个电极施加电压来改变每个电极所存在的区域中的光波导的折射率。结果，RF调制单元的有效光路长度和相位调整单元的有效光路长度被改变，并且因此可以执行相位调制并且调整相位差。此外，作为光波导，可以考虑使用通过在LN膜和缓冲层之间提供通过使用钛(Ti)形成的波导(即，Ti扩散光波导)的结构。然而，因为Ti扩散光波导中的光限制效果低于薄膜LN光波导中的光限制效果，所以存在Ti扩散光波导中的光损耗增加的问题。相反，如果光波导从Ti扩散光波导变为薄膜LN光波导，则可以提高RF调制单元中的电场施加效率，并且因此可以减小用于执行RF调制的RF电极的尺寸。然而，为了在相位调整单元中获得有效的电场施加效率，需要延长用于相位调整的DC电极。然而，如果DC电极的长度增加，则难以减小光调制器的尺寸。

相反，为了降低相位调整单元的驱动功率，可以想到缩短DC电极和接地电极之间的距离。然而，考虑到制造误差，缩短DC电极和接地电极之间的距离存在一些限制。因此，难以通过缩短DC电极与接地电极之间的距离来进一步实现电力节省。

因此，本发明的实施方式的一个方面的目的是提供能够在实现电力节省的同时减小尺寸的光器件和光收发器。

技术方案

根据实施方式的一方面，一种光器件包括基板、RF调制单元和相位调整单元。在基板中，第一缓冲层、具有电光效应的薄膜和第二缓冲层按此顺序形成。RF调制单元设置在基板上，并根据RF信号来调制光。相位调整单元设置在基板上，并且调整由RF调制单元调制的光信号的相位。相位调整单元包括第一光波导和加热器。第一光波导设置在第二缓冲层和薄膜之间，并且由具有热光效应的材料形成。已经由RF调制单元调制或将要被RF调制单元调制的光被允许通过第一光波导。加热器设置在与第一光波导相对的位置处，第二缓冲层位于加热器和第一光波导之间，并且加热器加热第一光波导。

有益效果

根据一个实施方式的一方面，可以在实现电力节省的同时减小光器件的尺寸。

附图说明

图1是示出光收发器的示例的图；

图2是示出光发送装置的示例的图；

图3是示出RF调制单元的示例的截面图；

图4是示出相位调整单元的示例的截面图；