[发明专利]版库装置、版库系统及姿态调整方法有效

专利信息
申请号: 202210127135.9 申请日: 2022-02-11
公开(公告)号: CN114476669B 公开(公告)日: 2023-10-03
发明(设计)人: 赵东雷;关宏武;王浩楠;林继柱;刘颖 申请(专利权)人: 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
主分类号: B65G47/91 分类号: B65G47/91;B65G43/08;B65G47/24
代理公司: 北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463 代理人: 宋家会
地址: 100176 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 装置 系统 姿态 调整 方法
【权利要求书】:

1.一种版库装置,其特征在于,包括:姿态调整机构以及设置于所述姿态调整机构的版盒,所述姿态调整机构包括Y向调整构件、RxRy调整构件、Rz调整构件、RxRy调节组件、Rz调节组件以及X向调节组件;其中,所述Y向调整构件、所述RxRy调整构件以及所述Rz调整构件从下向上顺次设置;

所述Y向调整构件与所述Rz调整构件通过所述RxRy调节组件相连接,且所述RxRy调节组件用于调节以及锁定所述Y向调整构件以及所述Rz调整构件的RX和RY;

所述Rz调整构件与所述RxRy调整构件以及所述Y向调整构件均通过所述Rz调节组件相连接,且所述Rz调节组件用于调节以及锁定所述Rz调整构件的Rz;

所述Rz调整构件与所述版盒通过所述X向调节组件相连接,所述X向调节组件用于调节以及锁紧所述版盒的X向位置。

2.根据权利要求1所述的版库装置,其特征在于,所述RxRy调节组件包括锁紧螺栓、锁紧螺母、锥面垫圈以及球面垫圈;

其中,所述锁紧螺栓依次穿设于所述Y向调整构件、所述锥面垫圈、所述球面垫圈以及所述RxRy调整构件;

所述锥面垫圈的锥面与所述球面垫圈的球面相配合;所述锁紧螺母旋拧于所述螺栓,并且用于锁紧所述Y向调整构件以及所述RxRy调整构件。

3.根据权利要求1所述的版库装置,其特征在于,所述Rz调节组件包括Rz导向销以及Rz调整座;其中,所述Rz调整构件和所述RxRy调整构件通过Rz导向销转动连接;

所述Rz调整座与所述Y向调整构件相连接;

所述Rz调整座形成有第一腰形孔,所述Rz调整座通过穿设于所述第一腰形孔的第一紧固构件与所述Rz调整构件相连接;所述Rz调整座形成有第一螺纹施力孔。

4.根据权利要求1所述的版库装置,其特征在于,所述Rz调节组件还包括至少三个第二紧固构件,且沿着所述版盒的宽度方向,至少两个所述第二紧固构件设置于所述版盒的一侧,至少一个所述第二紧固构件设置于所述版盒的相对的另一侧;

至少三个所述第二紧固构件均连接于所述Rz调整构件以及所述RxRy调整构件。

5.根据权利要求1所述的版库装置,其特征在于,所述X向调节组件包括X向导向销、导向孔、第二腰形孔、第三紧固构件以及X向调整座;

其中,所述导向孔以及所述第二腰形孔均形成于所述版盒,所述X向导向销设置于所述Rz调整构件,并且插设于所述导向孔内,所述X向导向销能够沿着所述导向孔移动;

所述第三紧固构件通过所述第二腰形孔连接所述Rz调整构件以及所述版盒;

所述X向调整座与所述Rz调整构件相连接,且所述X向调整座形成有第二螺纹施力孔。

6.根据权利要求5所述的版库装置,其特征在于,所述X向导向销的数量为两个,且两个所述X向导向销沿着所述版盒的长度方向顺次间隔设置。

7.根据权利要求1所述的版库装置,其特征在于,所述版盒包括:整体式版盒、入位检测装置、凸版检测装置、存在检测装置、右侧反射组件、左侧反射组件、版叉限位构件以及多个吸附组件;

其中,多个所述吸附组件均设置于所述整体式版盒内,且沿着所述整体式版盒的高度方向顺次设置;

所述入位检测装置和所述凸版检测装置均设置于所述整体式版盒的顶部;所述右侧反射组件以及所述左侧反射组件分别设置于所述整体式版盒的底部的相对的两侧;

任一所述吸附组件均配设有所述存在检测装置,且所述存在检测装置设置于所述吸附组件的侧部;

所述版叉限位构件设置于所述整体式版盒的一侧。

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