[发明专利]一种红外滤光片及其制备方法和在海洋气体遥感探测器中的应用在审
| 申请号： | 202210128631.6 | 申请日： | 2022-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN114545543A | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 范鹏;姜海;熊峰;刘俞含 | 申请（专利权）人： | 湖南麓星光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28;C23C14/10;C23C14/16;C23C14/34;G01N21/3504;G01N21/01 |
| 代理公司： | 长沙市融智专利事务所(普通合伙) 43114 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 410004 湖南省长沙市天心区新岭路6*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 红外 滤光 及其 制备 方法 海洋 气体 遥感 探测器 中的 应用 | ||
1.一种红外滤光片，其特征在于：由Si基底及其表面的镀膜层构成；所述镀膜层由多层SiO镀膜层和Si镀膜层交替叠加构成。
2.根据权利要求1所述的一种红外滤光片，其特征在于：所述镀膜层的总厚度为39517±10nm。
3.根据权利要求1或2所述的一种红外滤光片，其特征在于：所述镀膜层中Si镀膜层的总厚度为14570±10nm，SiO镀膜层的总厚度为24947±10nm。
4.根据权利要求3所述的一种红外滤光片，其特征在于：所述镀膜层中单层Si镀膜层的厚度29～741nm，单层SiO镀膜层的厚度为1～822nm。
5.根据权利要求1～4任一项所述的一种红外滤光片，其特征在于：所述镀膜层由以下Si镀膜层和SiO镀膜层交替叠加构成：
SiO镀膜层，厚度为430±3nm；Si镀膜层，厚度为253±3nm；
SiO镀膜层，厚度为462±3nm；Si镀膜层，厚度为310±3nm；
SiO镀膜层，厚度为113±3nm；Si镀膜层，厚度为311±3nm；
SiO镀膜层，厚度为73±3nm；Si镀膜层，厚度为738±3nm；
SiO镀膜层，厚度为358±3nm；Si镀膜层，厚度为510±3nm；
SiO镀膜层，厚度为429±3nm；Si镀膜层，厚度为308±3nm；
SiO镀膜层，厚度为819±3nm；Si镀膜层，厚度为126±3nm；
SiO镀膜层，厚度为535±3nm；Si镀膜层，厚度为238±3nm；
SiO镀膜层，厚度为366±3nm；Si镀膜层，厚度为474±3nm；
SiO镀膜层，厚度为246±3nm；Si镀膜层，厚度为239±3nm；
SiO镀膜层，厚度为375±3nm；Si镀膜层，厚度为277±3nm；
SiO镀膜层，厚度为459±3nm；Si镀膜层，厚度为77±3nm；
SiO镀膜层，厚度为381±3nm；Si镀膜层，厚度为356±3nm；
SiO镀膜层，厚度为550±3nm；Si镀膜层，厚度为262±3nm；
SiO镀膜层，厚度为400±3nm；Si镀膜层，厚度为183±3nm；
SiO镀膜层，厚度为255±3nm；Si镀膜层，厚度为145±3nm；
SiO镀膜层，厚度为272±3nm；Si镀膜层，厚度为368±3nm；
SiO镀膜层，厚度为294±3nm；Si镀膜层，厚度为159±3nm；
SiO镀膜层，厚度为352±3nm；Si镀膜层，厚度为471±3nm；
SiO镀膜层，厚度为316±3nm；Si镀膜层，厚度为128±3nm；
SiO镀膜层，厚度为98±3nm；Si镀膜层，厚度为242±3nm；
SiO镀膜层，厚度为625±3nm；Si镀膜层，厚度为165±3nm；
SiO镀膜层，厚度为183±3nm；Si镀膜层，厚度为315±3nm；
SiO镀膜层，厚度为436±3nm；Si镀膜层，厚度为129±3nm；
SiO镀膜层，厚度为221±3nm；Si镀膜层，厚度为226±3nm；
SiO镀膜层，厚度为401±3nm；Si镀膜层，厚度为220±3nm；
SiO镀膜层，厚度为1～3nm；Si镀膜层，厚度为271±3nm；
SiO镀膜层，厚度为484±3nm；Si镀膜层，厚度为241±3nm；
SiO镀膜层，厚度为470±3nm；Si镀膜层，厚度为448±3nm；
SiO镀膜层，厚度为308±3nm；Si镀膜层，厚度为176±3nm；
SiO镀膜层，厚度为247±3nm；Si镀膜层，厚度为310±3nm；
SiO镀膜层，厚度为414±3nm；Si镀膜层，厚度为140±3nm；
SiO镀膜层，厚度为252±3nm；Si镀膜层，厚度为277±3nm；
SiO镀膜层，厚度为623±3nm；Si镀膜层，厚度为43±3nm；
SiO镀膜层，厚度为184±3nm；Si镀膜层，厚度为315±3nm；
SiO镀膜层，厚度为625±3nm；Si镀膜层，厚度为32±3nm；
SiO镀膜层，厚度为184±3nm；Si镀膜层，厚度为154±3nm；
SiO镀膜层，厚度为491±3nm；Si镀膜层，厚度为305±3nm；
SiO镀膜层，厚度为409±3nm；Si镀膜层，厚度为223±3nm；
SiO镀膜层，厚度为548±3nm；Si镀膜层，厚度为94±3nm；
SiO镀膜层，厚度为339±3nm；Si镀膜层，厚度为246±3nm；
SiO镀膜层，厚度为465±3nm；Si镀膜层，厚度为156±3nm；
SiO镀膜层，厚度为522±3nm；Si镀膜层，厚度为182±3nm；
SiO镀膜层，厚度为794±3nm；Si镀膜层，厚度为252±3nm；
SiO镀膜层，厚度为409±3nm；Si镀膜层，厚度为356±3nm；
SiO镀膜层，厚度为485±3nm；Si镀膜层，厚度为265±3nm；
SiO镀膜层，厚度为399±3nm；Si镀膜层，厚度为213±3nm；
SiO镀膜层，厚度为662±3nm；Si镀膜层，厚度为48±3nm；
SiO镀膜层，厚度为813±3nm；Si镀膜层，厚度为209±3nm；
SiO镀膜层，厚度为513±3nm；Si镀膜层，厚度为161±3nm；
SiO镀膜层，厚度为591±3nm；Si镀膜层，厚度为229±3nm；
SiO镀膜层，厚度为550±3nm；Si镀膜层，厚度为181±3nm；
SiO镀膜层，厚度为620±3nm；Si镀膜层，厚度为186±3nm；
SiO镀膜层，厚度为622±3nm；Si镀膜层，厚度为209±3nm；
SiO镀膜层，厚度为670±3nm；Si镀膜层，厚度为290±3nm；
SiO镀膜层，厚度为469±3nm；Si镀膜层，厚度为221±3nm；
SiO镀膜层，厚度为491±3nm；Si镀膜层，厚度为473±3nm；
SiO镀膜层，厚度为238±3nm；Si镀膜层，厚度为184±3nm；
SiO镀膜层，厚度为577±3nm；Si镀膜层，厚度为223±3nm。
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