[发明专利]一种废气处理设备在审

专利信息
申请号: 202210129117.4 申请日: 2022-02-11
公开(公告)号: CN114471073A 公开(公告)日: 2022-05-13
发明(设计)人: 王虎成;张丹;王锐;陈俊;汪敏;沈蓉 申请(专利权)人: 合肥亚笙半导体设备科技有限公司
主分类号: B01D53/02 分类号: B01D53/02;B01D53/34;B01D53/81;B01D53/00
代理公司: 合肥兆信知识产权代理事务所(普通合伙) 34161 代理人: 汪洋
地址: 230000 安徽省合肥市高新*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 废气 处理 设备
【权利要求书】:

1.一种废气处理设备,包括柜体(1)和柜门(2)、所述柜体(1)左侧上部位置设置有废气进气口(3)和废气进气口(3)背部一侧的废气出气口(4),其特征在于:所述柜体(1)上部位置还设置有机柜排气口(5)和电源进线盒(6),所述柜体(1)内腔位置设置有第一药剂罐(7)和位于第一药剂罐(7)背部一侧的第二药剂罐(8),所述废气进气口(3)通过导管(9)、废气进气口电动阀(10)和金属软管(11)与第一药剂罐(7)的进气口连通,所述第一药剂罐(7)的出气口通过手动阀(12)和出气口逆止阀(13)与废气出气口(4)连通,所述导管(9)上通过三通和旁通电动阀(14)与第二药剂罐(8)的进气口连通,所述第二药剂罐(8)的出气口通过通过管道与废气出气口(4)连通,所述第一药剂罐(7)上设置有位于第一药剂罐(7)上部位置的上侧温度传感器(15)、位于第一药剂罐(7)下部位置的下侧温度传感器(16)、观察窗(17)和检修口(18),所述柜体(1)内壁位置还安装有传感器箱(19)。

2.根据权利要求1所述的一种废气处理设备,其特征在于:所述金属软管(11)与第一药剂罐(7)之间还安装有进气口辅助吹扫口(20)。

3.根据权利要求1所述的一种废气处理设备,其特征在于:所述第一药剂罐(7)底部安装有滚轮(21)。

4.根据权利要求1所述的一种废气处理设备,其特征在于:所述柜体(1)底部位置安装有脚轮(22)。

5.根据权利要求1所述的一种废气处理设备,其特征在于:所述柜门(2)上设置有加强筋(23)。

6.根据权利要求1所述的一种废气处理设备,其特征在于:所述柜门(2)正面一侧下部位置设置有百叶窗(24),所述柜门(2)内壁上部位置安装有电控系统仓(25)。

7.根据权利要求1所述的一种废气处理设备,其特征在于:所述柜门(2)正面外壁位置设置有触摸指示屏(26)和按钮指示灯(27),所述柜门(2)上还安装有隐藏式的门把手。

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