[发明专利]一种IC光刻字符识别与检测装置表面成像系统及方法

权利要求书

1.一种IC光刻字符识别与检测装置表面成像系统，其特征在于：所述IC光刻字符识别与检测装置包括垂直放置的“爪”型光源夹具(1)，侧面放置的弧形光源夹具(2)，具有多方位调节的相机夹紧机构(3)，龙门支撑架(4)，传送机构(5)；

表面成像系统中，包括条形光光源(6)、低角度环形光光源(7)、背光光源(8)和远心镜头(9)以及CCD工业相机(10)；

其中，相关光源是依据需求所表征的特征来控制光源的照明，即需要表征不同特征可以通过编码控制光源是否对IC样品(11)进行照明以及照明的亮度，避免光源的浪费以及可能造成一定的影响。

2.根据权利要求1所述的一种IC光刻字符识别与检测装置表面成像系统，其特征在于：所述垂直放置的“爪”型光源夹具(1)首端与龙门支撑架(4)连接，且垂直放置的“爪”型光源夹具(1)整体和龙门支撑架(4)之间通过旋转固定块(101)构成左右旋转调整结构；

所述旋转固定块(101)通过“U”字型连接块(103)的连杆结构连接“爪”型光源固定架(104)，且“U”字型连接块(103)首端连接于旋转固定块(101)侧端一体化的“凸”型连接块(102)，并且垂直放置的“爪”型光源夹具(1)通过“凸”型连接块(102)可以构成俯仰角度的调节结构；

所述“U”字型连接块(103)末端连接有“爪”型光源固定架(104)，且“爪”型光源固定架(104)构成进一步的伸缩动作调节结构，所述“爪”型光源固定架(104)上均匀分布有孔洞结构用于各种条形光光源(6)和环形光光源(7)的安装，且条形光光源(6)和环形光光源(7)用于IC样品(11)的照明。

3.根据权利要求1所述的一种IC光刻字符识别与检测装置表面成像系统，其特征在于：所述侧面放置的弧形光源夹具(2)主体为弧形蜂窝板(202)，且弧形蜂窝板(202)整体呈现弧形的形态，并且弧形蜂窝板(202)上具有蜂窝状的固定孔用于固定相应的背光光源(8)；

所述的弧形蜂窝板(202)与龙门支撑架(4)连接，且弧形蜂窝板(202)构成俯仰角度调节结构；

所述背光光源(8)与蜂窝板上的孔通过“U”型连杆(201)连接构成角度调节结构；

所述弧形蜂窝板(202)对称安装在传送机构(5)两旁起到对IC样品(11)的对称照明效果。

4.根据权利要求1所述的一种IC光刻字符识别与检测装置表面成像系统，其特征在于：所述具有多方位调节的相机夹紧机构(3)末端固定安装有CCD工业相机(10)，且具有多方位调节的相机夹紧机构(3)末端的机构主要由三块矩形蜂窝固定板(304)组成，所述矩形蜂窝固定板(304)主要起到固定CCD工业相机(10)位置的作用，且矩形蜂窝固定板(304)可以固定多台相机，并且CCD工业相机(10)与矩形蜂窝固定板(304)之间通过相机固定连接块(303)进行连接，所述相机固定连接块(303)构成平面旋转角度调节结构；

所述矩形蜂窝固定板(304)绕着中部相机固定连接块(303)构成旋转结构，以实现相机的空间多方位的角度调节；

所述矩形蜂窝固定板(304)首端连接有齿条连接导块(302)，且具有多方位调节的相机夹紧机构(3)在齿条连接导块(302)前端构成俯仰角度调节结构，并且齿条连接导块(302)末端固定连接有齿条结构；

所述齿条连接导块(302)末端固定的齿条结构为矩形保护板连接的导轨结构，且齿条连接导块(302)末端固定的齿条结构通过齿轮齿条调节旋钮(301)调节齿轮齿条的行程控制相机夹具末端的前后运动，所述具有多方位调节的相机夹紧机构(3)整体在龙门支撑架(4)处构成左右调节结构。