[发明专利]一种原子力显微镜探针的品质因数调整方法和装置

权利要求书

1.一种探针的品质因数调整方法，其特征在于，包括步骤：

获取第一曲线和第二曲线；所述第一曲线为根据探针的品质因数，以及第一音叉臂的第一附加物和第二音叉臂的第二附加物的质量差值得到；所述第二曲线为根据所述质量差值以及所述第二附加物的腐蚀时间得到；

获取所述探针的当前品质因数，并根据所述当前品质因数和所述第一曲线，得到当前质量差值；

根据所述当前质量差值和所述第二曲线，得到所述第二附加物的目标腐蚀时间；

根据所述目标腐蚀时间对所述第二附加物进行处理，得到目标探针。

2.根据权利要求1所述的探针的品质因数调整方法，其特征在于，所述根据所述目标腐蚀时间对所述第二附加物进行处理，得到目标探针的步骤，包括：

在所述目标腐蚀时间小于预设时间的情况下，根据所述目标腐蚀时间对所述第二附加物进行处理，得到所述目标探针；

在所述目标腐蚀时间大于所述预设时间的情况下，根据所述目标腐蚀时间对所述第二附加物进行处理，获取下一轮腐蚀时间并将所述目标腐蚀时间更新为所述下一轮腐蚀时间；重复执行根据所述目标腐蚀时间对所述第二附加物进行处理，获取下一轮腐蚀时间并将所述目标腐蚀时间更新为所述下一轮腐蚀时间的步骤，直至所述目标腐蚀时间小于或等于所述预设时间。

3.根据权利要求1所述的探针的品质因数调整方法，其特征在于，所述根据所述当前质量差值和所述第二曲线，得到所述第二附加物的目标腐蚀时间的步骤，包括：

将所述当前质量差值和预设值的乘积确定为参考差值；

根据所述第二曲线，确定所述参考差值对应的第二附加物的腐蚀时间；

将所述参考差值对应的第二附加物的腐蚀时间确定为所述目标腐蚀时间。

4.根据权利要求1所述的探针的品质因数调整方法，其特征在于，所述获取第一曲线和第二曲线的步骤之前，还包括步骤：

第三附加物粘接到所述第一音叉臂的电极上；

所述第二附加物粘接到所述第二音叉臂的电极上；其中，所述第二附加物与所述第三附加物对称设置；

处理所述第三附加物，得到所述第一附加物。

5.根据权利要求4所述的探针的品质因数调整方法，其特征在于，所述处理所述第三附加物，得到所述第一附加物的步骤，包括：

使用腐蚀装置在预设条件下对所述第三附加物进行腐蚀处理，直至发生预设事件；所述预设事件包括以下事件的任意一种或任意多种：所述第三附加物在预设位置处形成缩颈、所述腐蚀装置的环路电流减小以及所述腐蚀装置的电源被切断。

6.一种探针的品质因数调整装置，其特征在于，包括：

曲线获取模块，用于获取第一曲线和第二曲线；所述第一曲线为根据探针的品质因数，以及第一音叉臂的第一附加物和第二音叉臂的第二附加物的质量差值得到；所述第二曲线为根据所述质量差值以及所述第二附加物的腐蚀时间得到；

当前品质因数获取模块，用于获取所述探针的当前品质因数，并根据所述当前品质因数和所述第一曲线，得到当前质量差值；

目标腐蚀时间获取模块，用于根据所述当前质量差值和所述第二曲线，得到所述第二附加物的目标腐蚀时间；

目标探针获取模块，用于根据所述目标腐蚀时间对所述第二附加物进行处理，得到目标探针。

7.一种原子力显微镜探针，其特征在于，由权利要求1至7中任一项所述的方法制得。

8.根据权利要求7所述的原子力显微镜探针，其特征在于，所述第三附加物和所述第二附加物包括长度不相等的金属丝，且所述第一附加物的长度小于所述第二附加物的长度。

9.根据权利要求7所述的原子力显微镜探针，其特征在于，所述第三附加物包括第一介质；所述第二附加物包括第二介质；其中，所述第一介质和所述第二介质均为导电银胶。

10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至5中任一项所述方法的步骤。