[发明专利]一种节流气浮轴承及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种节流气浮轴承，其特征在于，它包括：

外支撑体(1)，所述外支撑体(1)的任一端面上开设有内凹的容置空间(12)且其内开设有与所述容置空间(12)相通的气流通道(14)；所述外支撑体(1)的周面上设置有与所述气流通道(14)相配合的进气口(2)；

多孔介质(3)，所述多孔介质(3)安装在所述容置空间(12)内，其为多孔石墨烯材质。

2.根据权利要求1所述的节流气浮轴承，其特征在于：所述多孔介质(3)内具有纳米级微孔且为三维均匀排列的结构。

3.根据权利要求1所述的节流气浮轴承，其特征在于：所述多孔介质(3)的孔径大小为小孔、中孔或大孔，所述小孔的尺寸为1-20纳米，所述中孔的尺寸为21-100纳米，所述大孔的尺寸为101-2000纳米。

4.根据权利要求1所述的节流气浮轴承，其特征在于：所述外支撑体(1)的内壁上还开设有与所述气流通道(14)相连通的多道引流槽(13)。

5.根据权利要求1所述的节流气浮轴承，其特征在于：所述外支撑体(1)的另一端面上开设有球头卡槽(11)。

6.根据权利要求1所述的节流气浮轴承，其特征在于：所述外支撑体(1)为金属材质。

7.根据权利要求1所述的节流气浮轴承，其特征在于：所述节流气浮轴承为平面型气浮轴承、轴套类气浮轴承或球类气浮轴承，所述平面型气浮轴承包括圆形气浮轴承和矩形气浮轴承。

8.权利要求1至7中任一所述节流气浮轴承的制备方法，其特征在于，它包括以下步骤：

(a)将金属材料加工成所需的外支撑体的形状和尺寸；

(b)将多孔石墨烯材料毛坯加工成与所述外支撑体相配合的多孔介质的形状和尺寸；

(c)将所述多孔介质与所述外支撑体进行粘合组装；

(d)对所述多孔介质表面进行精密研磨，使其平面度粗糙度达到要求；

(e)对步骤(d)得到的产品进行超声波清洗、通气检测和承载力检测即可。

9.根据权利要求8所述节流气浮轴承的制备方法，其特征在于：步骤(d)中，所述平面度粗糙度达到纳米级。

10.权利要求1至7中任一所述节流气浮轴承的应用，其特征在于：它作为轴承零件用于检测或测试设备、亚微米坐标测量机、空气轴承旋转台、光盘控制设备、高分辨率成像设备、平板显示设备、内外滚筒扫绘图仪、磁头和光学制造设备、引线接合机、焊线机、固晶机、太阳能光伏印刷机械设备、成像设备、涡轮机械、直线平台、医疗设备、精密磨削和切削设备、精密旋转扫描设备、编码器以及玻璃基板输送设备，所述精密计量仪器包括高度、圆度、垂直度、平面度、同心度和圆柱度的计量仪器以及平面和圆度测量系统；所述检测或测试设备包括视觉和光学检测设备、液晶面板检测设备、显微镜平面检测设备、晶片探针检测设备和磁盘和磁头检测设备；所述磁头和光学制造设备包括磁头制造机床、磁存储器和光存储器制造设备、磁盘驱动器读写头制造机床、光学磨削机床、镜头和金刚石镜面车削机床、金刚石飞切机床、隐性眼镜镜片车床、AOI机器视觉设备、感光底层涂敷设备、光栅刻线设备和存储器修补激光直接记录设备。