[发明专利]一种双面同步研磨装置

权利要求书

1.一种双面同步研磨装置，其特征在于，包括固定架和安装在所述固定架上的上研磨机构和下研磨机构，所述固定架的中部设有料盘组件，所述上研磨机构和所述下研磨机构分别设置在所述料盘组件的上下两侧并分别与所述料盘组件形成研磨区域，

所述上研磨机构包括上研磨电机、上旋转主轴、上研磨盘，所述上研磨电机驱动所述上旋转主轴旋转，所述上旋转主轴与所述上研磨盘固定连接并带动所述上研磨盘旋转；

所述下研磨机构包括下研磨电机、下中空主轴、下研磨盘，所述下研磨电机驱动所述下中空主轴旋转，所述下中空主轴与所述下研磨盘固定连接并带动所述下研磨盘旋转；

所述料盘组件为双工位四料盘结构，所述料盘组件通过齿轮传动组件驱动其旋转，所述齿轮传动组件通过中心主轴连接下旋转电机，待研磨工件固定在所述料盘组件上，所述上研磨盘和所述下研磨盘在转动过程中对所述待研磨工件进行双面研磨。

2.根据权利要求1所述的一种双面同步研磨装置，其特征在于，所述固定架包括底座板和从所述底座板的一侧边纵向固定在所述底座板上的垂直安装板，所述垂直安装板的内侧面中部固定有一个横向安装板，所述横向安装板位于所述底座板上方且与所述底座板平行设置，所述上研磨电机固定在所述横向安装板上；

所述上旋转主轴穿过所述横向安装板的中部，所述横向安装板的上端面位于所述上旋转主轴的两侧分别设有一根导向柱，两根所述导向柱的上端通过支撑板固定连接，所述上研磨电机固定在所述支撑板上，且所述上研磨电机的输出轴与所述上旋转主轴固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种双面同步研磨装置，其特征在于，所述料盘组件包括磨液回流钣金槽，所述磨液回流钣金槽内间隔设置有两个物料盘，所述齿轮传动组件包括传动齿轮和游动齿轮和从动齿轮，每个所述物料盘上均对称设置有两个所述游动齿轮，每个所述游动齿轮上均固定有一个用于固定待研磨工件的固定板，

相邻两个所述物料盘上的所述游动齿轮之间通过所述传动齿轮连接，并分别与所述所述传动齿轮啮合传动，所述传动齿轮与所述中心主轴之间通过轴承转动连接，所述底座板上固定有下旋转电机，所述下旋转电机与所述中心主轴连接并驱动所述中心主轴旋转。

4.根据权利要求3所述的一种双面同步研磨装置，其特征在于，每个所述物料盘的中部设有挡块，两个所述游动齿轮分别位于所述挡块的两侧，所述挡块的两侧分别设有限位块，所述限位块与所述游动齿轮之间设置有所述从动齿轮，且所述从动齿轮与所述游动齿轮啮合，所述限位块与所述从动齿轮接触的一侧面上开设有第一轮齿槽，并通过所述第一轮齿槽与所述从动齿轮啮合，实现所述从动齿轮的稳定转动。

5.根据权利要求2所述的一种双面同步研磨装置，其特征在于，所述上旋转主轴上套设有上中空恒压气缸，所述上中空恒压气缸位于所述横向安装板上，所述横向安装板上开设有连通孔，所述上中空恒压气缸的底部固定有伸缩杆的上端，所述伸缩杆的下端穿过所述通孔并固定在所述上研磨盘的上端面，所述伸缩杆采用刚性材质，通过调节所述上中空恒压气缸的压力，使得所述上研磨盘对物料产生稳定持续的压力。

6.根据权利要求5所述的一种双面同步研磨装置，其特征在于，还包括压力补偿气缸，所述压力补偿气缸通过一个软管连接所述上中空恒压气缸，并通过所述软管调整所述上中空恒压气缸内的气压值；在上中空恒压气缸内分别设置有气压传感器，所述压力补偿气缸上设置有控制器，所述气压传感器与所述控制器电性连接，当所述气压传感器检测到所述中空恒压气缸内的气压值偏离预设值时，所述控制器控制所述压力补偿气缸进行气压补充调整。

7.根据权利要求3所述的一种双面同步研磨装置，其特征在于，所述磨液回流钣金槽的下方均设有两个用于转换所述物料盘位置的换位电机，每个所述换位电机对应一个所述物料盘，每个所述换位电机的输出轴均连接一根换位转轴，所述换位转轴与对应的所述物料盘的底面固定连接，并在转动过程中带动所述物料盘转动，使所述物料盘上的固定板轮流位于所述上研磨盘的下方以及所述下研磨盘的上方。