[发明专利]一种检测异形靶材尺寸的检具及检测方法

权利要求书

1.一种检测异形靶材尺寸的检具，其特征在于，所述异形靶材整体呈锅形，所述检具呈板状，包括内检具和外检具两部分，所述内检具的形状与异形靶材内部纵截面的形状相匹配，所述外检具为一侧开口形成凹槽的板状结构件，所述外检具中凹槽的形状与异型靶材外部纵截面的形状相匹配；所述内检具和外检具独立设置，所述内检具的尺寸小于外检具中凹槽的尺寸。

2.根据权利要求1所述的检具，其特征在于，所述异形靶材的横截面呈圆形，过中心轴的纵截面自开口处向下依次包括侧面直线段、弧形连接段和底面弧形段；

优选地，所述异形靶材的开口处向外延伸设有边沿。

3.根据权利要求1或2所述的检具，其特征在于，所述检具的材质包括不锈钢，优选为与异形靶材相同的材质；

优选地，所述内检具和外检具的厚度独立地为0.5～1.5mm。

4.根据权利要求1-3任一项所述的检具，其特征在于，所述内检具沿竖直方向置于异形靶材内部，所述内检具与异形靶材过中心轴的纵截面重合；

优选地，所述外检具沿竖直方向套在异形靶材外侧，所述外检具与异形靶材过中心轴的纵截面重合。

5.根据权利要求1-4任一项所述的检具，其特征在于，所述内检具包括主体部分和卡接部分，所述主体部分的一端置于异形靶材内部检测内部尺寸，所述卡接部分为主体部分的另一端向两侧延伸出的凸起部分；

优选地，所述凸起部分靠近内侧的部分设有卡槽，所述内检具置于异形靶材内部时，所述卡槽和异形靶材的边沿卡接将内检具固定。

6.根据权利要求1-5任一项所述的检具，其特征在于，所述外检具为规则四边形从一侧挖设出凹槽区域后的结构件；

优选地，所述规则四边形包括矩形；

优选地，所述凹槽区域的面积占规则四边形面积的比例为80～90％。

7.一种采用权利要求1-6任一项所述的检具检测异形靶材尺寸的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

根据待检测的异形靶材的结构及尺寸，选择相应的内检具和外检具；

将内检具置于异形靶材内部，观察并检测异形靶材的内部尺寸；将外检具套在异形靶材的外部，观察并检测异形靶材的外部尺寸。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述内检具和外检具的材质包括不锈钢，优选为与异形靶材相同的材质；

优选地，所述内检具和外检具在使用前，先进行抛光、洗涤处理。

9.根据权利要求7或8所述的方法，其特征在于，所述异形靶材内部尺寸和外部尺寸的检测顺序不分先后；

优选地，所述内检具置于异形靶材内部时，内检具的凸起部分卡接在异形靶材的边沿上，观察内检具主体部分的边缘与异形靶材内壁的贴合情况；

优选地，根据内检具主体部分的边缘与异形靶材内壁之间的间隙大小，判断异形靶材的内部尺寸是否合适；

优选地，所述间隙大于0.2mm时，所述异形靶材需要重新加工；

优选地，采用所述内检具对异形靶材中多个内部纵截面的尺寸进行检测。

10.根据权利要求7-9任一项所述的方法，其特征在于，所述外检具套在异形靶材外部时，所述外检具沿竖直方向设置，与异形靶材过中心轴的纵截面重合，观察外检具的凹槽边缘与异形靶材外壁的贴合情况；

优选地，根据外检具的凹槽边缘与异形靶材外壁之间的间隙大小，判断异形靶材的外部尺寸是否合适；

优选地，所述间隙大于0.2mm时，所述异形靶材需要重新加工；

优选地，采用所述外检具对异形靶材中多个外部纵截面的尺寸进行检测。