[发明专利]加料管、单晶生长设备及其加料方法

权利要求书

1.一种加料管，用于单晶生长设备，其特征在于，所述单晶生长设备包括：坩埚和所述加料管，所述坩埚适于盛放硅熔汤，所述加料管包括：

管本体，所述管本体限定出输料通道和多个用于储放硅原料的储料腔，多个所述储料腔均和所述输料通道连通，所述输料通道适于将多个所述储料腔内的硅原料投放至所述坩埚；

开关组件，所述开关组件适于分别控制多个所述储料腔与所述输料通道的通断。

2.根据权利要求1所述的加料管，其特征在于，所述管本体包括：

外管；

内管，所述内管位于所述外管的内侧，所述内管限定出所述输料通道；

多个隔板，多个所述隔板间隔设于所述外管与所述内管之间，多个所述隔板与所述外管以及所述内管共同限定出多个所述储料腔，所述内管上形成有与多个所述储料腔一一对应的多个连通口，所述连通口连通所述储料腔和所述输料通道，所述开关组件适于打开或关闭多个所述连通口。

3.根据权利要求2所述的加料管，其特征在于，多个所述隔板沿所述内管的周向间隔布置，多个所述隔板与所述外管以及所述内管共同限定出沿所述内管的轴向延伸且沿所述内管的周向间隔布置的多个所述储料腔，所述连通口位于所述储料腔的邻近底端的位置。

4.根据权利要求3所述的加料管，其特征在于，所述储料腔的底壁沿所述内管的径向向内且沿轴向向下的方向倾斜延伸。

5.根据权利要求2所述的加料管，其特征在于，所述开关组件包括：

多个开关门，多个所述开关门与多个所述连通口一一对应且适配，所述开关门沿所述内管的轴向且远离所述坩埚的一端与所述内管枢转连接。

6.根据权利要求1所述的加料管，其特征在于，还包括：

驱动件，所述驱动件与所述管本体相连，所述驱动件适于驱动所述管本体绕所述管本体的中心轴线转动以带动多个所述储料腔转动。

7.根据权利要求1所述的加料管，其特征在于，还包括：导向盖，所述导向盖适于封堵所述输料通道的邻近所述坩埚的一端，所述导向盖适于在第一位置和第二位置之间移动，所述导向盖在所述第一位置时，所述输料通道被关闭，所述导向盖在所述第二位置时，所述输料通道被打开，所述储料腔内的硅原料适于通过所述输料通道输送至所述坩埚。

8.根据权利要求7所述的加料管，其特征在于，所述导向盖适于沿所述管本体的轴向所述第一位置和所述第二位置之间移动，在沿所述管本体的轴向且远离所述管本体的方向上，所述导向盖的至少部分沿径向向外倾斜延伸形成导向面，

所述导向盖的直径大于所述输料通道的直径，所述导向盖位于所述第一位置时，所述导向面封堵所述输料通道，所述导向盖在所述第二位置时，所述导向面与所述管本体沿轴向间隔开，所述储料腔内的硅原料适于沿所述导向面输送到所述坩埚内。

9.根据权利要求8所述的加料管，其特征在于，所述导向盖包括：

第一导向部，所述第一导向部在参考面内的投影形成为半圆形，所述第一导向部适于将硅原料投放至所述坩埚的第一区域；

第二导向部，所述第二导向部在参考面内的投影形成为半圆形，所述第二导向部在参考面内的投影的半径小于所述第一导向部在参考面内的投影的半径，所述第二导向部与所述第一导向部沿径向相对且相连，所述第二导向部适于将硅原料投放至所述坩埚的第二区域，所述第二区域在参考面内的投影位于所述第一区域在参考面内的投影的内侧，所述参考面垂直于所述输料管道的中心轴线，

所述导向盖还适于绕所述输料通道的轴线转动，以使所述第一导向部或所述第二导向部运动至需要投放硅料的所述储料腔的下侧。

10.根据权利要求1所述的加料管，其特征在于，多个所述储料腔适于分别存储不同尺寸的硅原料，多个所述储料腔按照所存储的硅原料的尺寸大小沿所述管本体的周向依次布置。