[发明专利]一种薄膜式尾气氧传感器芯片制备用烘干叠合装置

权利要求书

1.一种薄膜式尾气氧传感器芯片制备用烘干叠合装置，包括基座(1)，其特征在于，所述基座(1)的顶面固定连接有储水箱(10)，且储水箱(10)的一侧外表面通过法兰盘固定连通有进水管道(11)和出水管道(12)，所述储水箱(10)的顶面固定连接有烘干机构(2)，所述储水箱(10)的一侧内表面固定连接有加热器(13)，所述加热器(13)的底面固定连接有支撑座(14)，且支撑座(14)的底面与基座(1)的顶面固定连接，所述基座(1)的顶面固定连接有控制系统(15)，所述控制系统(15)的一侧外表面滑动连接有支撑架(16)，且支撑架(16)的一侧外表面与基座(1)的顶面固定连接，所述基座(1)的顶面固定连接有支撑块(17)，且支撑块(17)与烘干机构(2)相适配。

2.根据权利要求1所述的一种薄膜式尾气氧传感器芯片制备用烘干叠合装置，其特征在于：所述烘干机构(2)包含烘干仓(20)，所述烘干仓(20)的一侧内表壁固定贯穿有恒温器(21)，且恒温器(21)的底面与支撑架(16)的顶面固定连接，所述恒温器(21)的一侧外表面固定连接有两个敏感元件(22)，且两个敏感元件(22)的一侧外表面均与烘干仓(20)的一侧内表面固定连接，所述烘干仓(20)的底面固定连接有导热板(23)，且导热板(23)的底面与储水箱(10)的顶面固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种薄膜式尾气氧传感器芯片制备用烘干叠合装置，其特征在于：所述导热板(23)的顶面固定连接有滑轨(24)，所述滑轨(24)的内部底面滑动连接有滑块(25)，且滑块(25)的顶面固定连接有升降机构(3)，所述滑块(25)的一侧外表面固定连接有气缸装置(26)，且气缸装置(26)远离滑块(25)的一端与烘干仓(20)的一侧内表面固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种薄膜式尾气氧传感器芯片制备用烘干叠合装置，其特征在于：所述烘干仓(20)的一侧外表面开设有导向槽(27)，且导向槽(27)与升降机构(3)相适配，所述烘干仓(20)的顶面开设有升降槽(28)，且升降槽(28)与升降机构(3)相适配。

5.根据权利要求3所述的一种薄膜式尾气氧传感器芯片制备用烘干叠合装置，其特征在于：所述升降机构(3)包含固定座(30)，且固定座(30)的底面与滑块(25)的顶面固定连接，所述固定座(30)的顶面固定连接有液压伸缩杆(31)，所述液压伸缩杆(31)远离固定座(30)的一端固定连接有支撑板(32)，且支撑板(32)的顶面固定连接有夹持装置(33)，所述夹持装置(33)的输出端固定设置有叠合机构(4)，且叠合机构(4)的底面与支撑板(32)的顶面滑动连接，所述支撑板(32)的顶面靠近四个拐角处均固定连接有支撑杆(34)，且四个支撑杆(34)远离支撑板(32)的一端固定连接有密封板(35)。

6.根据权利要求5所述的一种薄膜式尾气氧传感器芯片制备用烘干叠合装置，其特征在于：所述叠合机构(4)包含叠合仓(40)，所述叠合仓(40)的内表面沿水平方向固定连接有分隔板(41)，且分隔板(41)的一侧外表面开设有槽洞(42)，所述分隔板(41)将叠合仓(40)分隔为第一元件腔(43)和第二元件腔(44)。

7.根据权利要求6所述的一种薄膜式尾气氧传感器芯片制备用烘干叠合装置，其特征在于：所述第一元件腔(43)的两侧内表面之间固定连接有两个滑杆(430)，两个所述滑杆(430)的一侧外表面滑动连接有移动板(431)，且移动板(431)与槽洞(42)相适配，所述移动板(431)的一侧外表面固定连接有第一电动伸缩杆(432)，且第一电动伸缩杆(432)远离移动板(431)的一端与第一元件腔(43)的一侧内表面固定连接。

8.根据权利要求6所述的一种薄膜式尾气氧传感器芯片制备用烘干叠合装置，其特征在于：所述分隔板(41)的顶面固定连接有四个导向柱(440)，且四个导向柱(440)远离分隔板(41)的一端固定连接有固定板(441)，所述第二元件腔(44)的一侧内表面固定连接有第二电动伸缩杆(442)，所述第二电动伸缩杆(442)的输出端固定连接有移动块(443)，且移动块(443)与固定板(441)相适配。