[发明专利]一种声波换能器结构

权利要求书

1.一种声波换能器结构，包括衬底和置于所述衬底上的金属电极结构，其特征在于，所述金属电极结构包括叉指电极以及以所述叉指电极的中心线为轴对称分布的宽幅电极、间隙结构和汇流条，设中心线方向为x轴；所述叉指电极包括第一、第二叉指电极，所述宽幅电极包括上、下宽幅电极，第一叉指电极的上端分别连接相应的上宽幅电极、第二叉指电极的下端分别连接相应的下宽幅电极，且所述第一叉指电极和第二叉指电极沿x方向交叉排布；所述间隙结构包括上、下间隙结构，每个所述上宽幅电极均与上间隙结构相连，每个所述下宽幅电极均与下间隙结构相连，所述上宽幅电极与上间隙结构、所述下宽幅电极与下间隙结构相连的接触边沿不齐平；所述汇流条包括上、下汇流条，所述上间隙结构与上汇流条相连，所述下间隙结构与下汇流条相连，所述上、下汇流条外接不同的电势，所述声波换能器结构的电势差存在于叉指电极所在区域。

2.根据权利要求1所述的声波换能器结构，其特征在于，所述上、下间隙结构相同，包括由横向、纵向间隙条围成的多个间隙网格以及位于所述间隙网格内的金属块，且相邻间隙网格的尺寸不同、相邻间隙网格内的金属块的尺寸不同；其中，与所述宽幅电极相连的横向间隙条分布在y方向的不同位置，所述汇流条连接所述横向、纵向间隙条。

3.根据权利要求1所述的声波换能器结构，其特征在于，所述上、下间隙结构相同，包括分布在第一区域的多个间隙网格、分布在第二区域的多个间隙块、分布在第三区域的多个间隙网格及其内部的金属块，第一、第二和第三区域依次沿y方向分布；所述间隙网格由横向、纵向间隙条围成，且相邻间隙网格的尺寸不同、相邻间隙网格内的金属块的尺寸不同；所述第一区域的间隙网格与相应的宽幅电极相连，且与所述宽幅电极相连的横向间隙条分布在y方向的不同位置；所述第二区域的间隙块在y方向的两端分别连接所述第一区域的间隙网格和第三区域的间隙网格；所述第三区域的间隙网格连接相应的汇流条。

4.根据权利要求2所述的声波换能器结构，其特征在于，位于中心线一侧的宽幅电极、叉指电极和间隙结构的金属化比依次减小；其中，所述金属化比定义为金属面积除以区域总面积。

5.根据权利要求3所述的声波换能器结构，其特征在于，位于中心线一侧的所述间隙结构的第二区域、宽幅电极、叉指电极、第三区域和第一区域的金属化比依次减小。

6.根据权利要求1所述的声波换能器结构，其特征在于，所述上、下宽幅电极在y方向上的长度范围在0.3λ到1.2λ之间，λ定义为电相连的相邻第一叉指电极或相邻第二叉指电极在x方向上的相对距离。

7.根据权利要求2或3所述的声波换能器结构，其特征在于，同一间隙网格内的金属块的数量小于5个，且互不相连。