[发明专利]一种石英坩埚水冷模

权利要求书

1.一种石英坩埚水冷模，其特征在于，包括：

筒体，设有开口，用于容纳石英坩埚钢模，所述石英坩埚钢模的顶部搭接于所述开口上，以使所述筒体和所述石英坩埚钢模之间形成空腔；

抽气通孔，设于所述筒体底部，和所述空腔连通；

环形冷却通道，设于所述筒体的顶部；

螺旋冷却水管，设于所述空腔的内部并沿所述筒体的内壁环绕设置，所述螺旋冷却水管同时连通所述环形冷却通道与所述筒体的底面，以对所述石英坩埚钢模进行热对流冷却；

所述螺旋冷却水管包括：交替环绕设置的第一螺旋水管和第二螺旋水管，所述筒体底部设置有用以连通所述第一螺旋水管的进水孔和用以连通所述第二螺旋水管的出水孔；

所述环形冷却通道包括：设置在所述筒体顶面的环形法兰和设置在所述环形法兰与所述筒体之间的密封圈。

2.根据权利要求1所述的石英坩埚水冷模，其特征在于，所述第一螺旋水管和所述第二螺旋水管均可拆卸的设置于所述筒体内部。

3.根据权利要求2所述的石英坩埚水冷模，其特征在于，所述筒体内部设置有用以减少所述空腔体积的导流筒。

4.根据权利要求3所述的石英坩埚水冷模，其特征在于，所述导流筒具体设置为下窄上宽的喇叭口型，以便于所述抽气通孔抽气。

5.根据权利要求4所述的石英坩埚水冷模，其特征在于，所述密封圈的底面通过加强筋设置在所述筒体的侧壁。