[发明专利]一种纤维布匹表面初步金属化处理装置及处理方法

权利要求书

1.一种纤维布匹表面初步金属化处理装置，其特征在于：包括腔室，所述腔室内设置若干组中频孪生对靶，每组中频孪生对靶中的靶材正对放置，且分别放置于待镀布品两侧，每组中频孪生对靶之间形成等离子区域，每组中频孪生对靶后设置有一组水冷板，每组水冷板分别放置于待镀布品两侧；所述每组中频孪生对靶接中频磁控溅射电源，互为阴阳极。

2.根据权利要求1所述的一种纤维布匹表面初步金属化处理装置，其特征在于：所述待镀布品固定在布品放卷机构上，所述布品放卷机构包括放卷辊和收卷辊以及位于放卷辊和收卷辊之间的过渡辊，所述过渡辊包括四个，分别位于同一个矩形的四个顶点上。

3.根据权利要求1所述的一种纤维布匹表面初步金属化处理装置，其特征在于：中频磁控溅射电源的频率一般为20-80kHz。

4.根据权利要求3所述的一种纤维布匹表面初步金属化处理装置，其特征在于：优选40KHZ。

5.根据权利要求1所述的一种纤维布匹表面初步金属化处理装置，其特征在于：所述中频孪生对靶的组数为4组。

6.一种纤维布匹表面初步金属化处理方法，其特征在于：所述处理方法为在待镀布品上镀覆金属镍初始涂层，具体包括以下步骤：

1）将腔体抽真空至5*10^-2pa到1*10^-3pa，充入氩气至工作压强，为3*10^-1pa～1*10^-2pa，开启电源，设定工作功率和电流；工作功率为1-10KW，工作电流1-50A；

2）待镀布品在收卷机构的带动下匀速通过中频孪生对靶之间形成等离子区域以及水冷板之间的区域，从而得到施镀后产品。

7.根据权利要求6所述的一种纤维布匹表面初步金属化处理方法，其特征在于：所述步骤1）中工作压强为3*10^-1pa～1*10^-2pa，工作功率为1-10kW，电流1-50A。

8.根据权利要求6所述的一种纤维布匹表面初步金属化处理方法，其特征在于：所述步骤2）中待镀布品通过镀膜区域的速度为1-10m/min。