[发明专利]耐用电解电极及其制造方法

权利要求书

1.耐用电解电极，包括铈钨电极(1)、氧化金属层(2)、锡层(3)和覆铜板PI层(4)，其特征在于：所述铈钨电极(1)的外圈四周烧焊有氧化金属层(2)，氧化金属层(2)的外圈四周烧焊有锡层(3)，锡层(3)的外圈四周设置有覆铜板PI层(4)，覆铜板PI层(4)的外圈四周烧焊有焊层(5)。

2.根据权利要求1所述的耐用电解电极其还包括耐用电解电极的制备方法，具有如下的步骤：

步骤一：选取铈钨电极对其表面进行清洗、干燥后放入烧焊模具；

步骤二：将原料氧化铬、二氧化钛、氧化镁进行研磨呈粉末状；

步骤三：将呈粉末状的原料与锡粉充分搅拌后熔融呈流体状，并浇筑到烧焊模具中，冷却；

步骤四：将单侧覆铜板PI层粘附于玻璃片表面，并放置于真空箱中，抽取PI层与玻璃片表面交界处夹杂的残留气体；

步骤五：清洗铜层表面，在其表面旋涂光刻胶后烘烤，并置于紫外光环境曝光；

步骤六：采用混合溶液腐蚀铜层，进行氧化还原反应去除未被光刻胶图层保护的铜金属；

步骤七：用去离子水清洗基底电极表面，利用丙酮溶液去除铜层表面光刻胶图形，升温溶解低温互连焊料将得到的基底电极与铈钨电极焊连，得到耐用电解电极。

3.根据权利要求2所述的耐用电解电极制造方法，其特征在于，所述步骤一中的清洗采用电极浸入0.1mol/L稀盐酸中30分钟的方式，随后用纯水清洗,再浸入浸泡液中浸泡6小时。

4.根据权利要求2所述的耐用电解电极制造方法，其特征在于，所述步骤四中真空箱放置时间为30min～40min。

5.根据权利要求2所述的耐用电解电极制造方法，其特征在于，所述步骤五中对铜层表面清洗的物质为0.1M/L的盐酸溶液，且烘烤时间为2min～3min，烘烤温度为100℃～110℃。

6.根据权利要求2所述的耐用电解电极制造方法，其特征在于，所述步骤五中紫外光环境的波长为365nm，且曝光时间为2min。

7.根据权利要求2所述的耐用电解电极制造方法，其特征在于，所述步骤六中的混合溶液为FeCl3与HCl等比例调和的弱酸溶液。

8.根据权利要求2所述的耐用电解电极制造方法，其特征在于，所述步骤七中在焊连的过程中在焊料表面添加0.1M/L HCl溶液用于保护液态焊料不被氧化。

9.根据权利要求2所述的耐用电解电极制造方法，其特征在于，所述步骤七中的互连焊料选用熔点为47℃的低温焊料。