[发明专利]一种复合石英玻璃板及其制备方法

说明书

一种复合石英玻璃板的制备方法，所述复合石英玻璃板为2层以上石英玻璃板复合而成，包括以下步骤:将石英玻璃板夹紧，对石英玻璃板加热烧结。加热方法为燃烧加热或电加热，所述加热方法为局部加热和/或整体加热。该方法可以制备出综合性能复合石英玻璃板，开拓了一种新型复合材料。可充分发挥不同石英板的优势性能，获得优于基板的综合性能，大大地扩展石英板的使用领域，同时能够应用于新的功能性使用领域；适用于各种石英玻璃板的加工以制备复合石英玻璃板。

技术领域

本发明涉及石英玻璃板应用及加工制造技术，尤其涉及一种复合石英玻璃板及其制备方法。

背景技术

石英玻璃以其优良的耐高温、抗热震、低膨胀、耐腐蚀、化学性能稳定、无辐射损伤、光学性能优良；被广泛应用于光源、半导体、光伏、化工、医疗、冶金、国防等领域广泛应用。

石英玻璃根据结构形态及掺杂不同元素，其性能存在各自优点。透明石英玻璃具有光的高透性能，而乳白石英可见及短波光透过性低，远红外性能优良。透明石英根据不同的制造方法及后续掺杂工艺，各种透明石英存在光波透过性的差异并应用于不同领域。

对于需要同时获得综合性能或2种及3种以上性能的叠加，则需要对石英玻璃进行复合设计制造，获得复合石英玻璃材料。

发明内容

根据本公开的实施例，本发明的目的在于提供一种复合石英玻璃板及其制备方法，解决了单种类石英玻璃所不具备的综合性能技术难题。

一种复合石英玻璃板的制备方法，所述复合石英玻璃板为2层以上石英玻璃板复合而成，包括以下步骤:将石英玻璃板夹紧，对石英玻璃板加热烧结。

进一步地，所使用的石英玻璃板为1种或2种以上的石英玻璃材质，石英玻璃材质为透明石英玻璃板、不透明石英玻璃板、高透石英玻璃板、红黑石英玻璃板、乳白石英玻璃板、合成石英玻璃石英玻璃板、滤紫外石英玻璃板、普通石英板、高纯石英板和/或掺杂石英玻璃板。

进一步地，加热方法为燃烧加热或电加热，所述加热方法为局部加热和/或整体加热。

进一步地，复合石英玻璃板加工环境为真空环境、大气环境或惰性气体。

进一步地，所述加热方法为燃烧加热，将石英玻璃板通过夹具夹牢固，使用张紧轮将石英玻璃板张紧，张紧轮压力为5-8N,火焰温度控制在2300℃～2500℃，石英板过火速度2～5cm/min，燃烧气体和助燃气体压力≥0.5Mpa。

进一步地，所述加热方法电加热，在高温真空炉中进行，将石英玻璃板在高温真空炉中堆叠放置，抽真空，进行加热，达到一定温度后，进行增压，然后冷却。

进一步地，抽真空，达到真空度1pa后，开始进行加热，热功率曲线热场温区温度≤1000℃，升温速度控制在15℃/min以内；热场温区温度1000℃T≤1400℃，升温速度控制在10℃/min以内；热场温区温度1400℃T≤1900℃，升温速度控制在5℃/min以内，加热达到目标温度后；保持温度10-30min。

进一步地，使用惰性气体对炉内进行增压，升压速度低于5000Pa/min，达到5大气压以下目标压力后；逐步控制使温度冷却，速度控制在5℃/min以内；石英玻璃板中心温度低于150℃，打开炉门。

更进一步地，一种上述的制备方法制得的复合石英玻璃板。

本发明的优点及效果：

(1)本发明的方法可以制备出综合性能复合石英玻璃板，开拓了一种新型复合材料。

(2)本发明制备的复合石英玻璃板可充分发挥不同石英板的优势性能，获得优于基板的综合性能，大大地扩展石英板的使用领域，同时能够应用于新的功能性使用领域；

(3)本发明制备方法能够适用于各种石英玻璃板的加工以制备复合石英玻璃板。