[发明专利]一种乙硼烷混合气体的制备系统及其制备方法

说明书

本发明公开了一种乙硼烷混合气体的制备系统及其制备方法，涉及乙硼烷混合气体的制备系统及其制备方法的技术领域。所述制备系统包括乙硼烷气瓶、充气主管线、真空系统、低温冷阱和控温充气装置，所述乙硼烷气瓶通过气管一连接至充气主管线，所述低温冷阱内放置回收气瓶，所述回收气瓶通过气管二连接至充气主管线，所述控温充气装置内放置若干目标充装气瓶，每个所述目标充装气瓶通过气管三连接至充气主管线，所述气管一与充气主管线之间连接处通过真空管线连接至真空系统。在制备乙硼烷混合气体的过程中，使用低温液体对混合气体进行降温，能够显著提高乙硼烷混合气体的制备效率并且能够消除温度对乙硼烷稳定性的影响，能够循环利用。

技术领域

本发明涉及乙硼烷混合气体制备的技术领域，具体是一种乙硼烷混合气体的制备系统及其制备方法。

背景技术

乙硼烷(B2H6)是电子半导体、光伏行业中具有重要作用的特种气体之一，一般采用氮气或氢气稀释后的混合气体应用。混合气体的制备过程中，在加入氮气或氢气气体的阶段，气瓶内的气体会出现明显的温度升高现象。

乙硼烷气体在较高温度时不稳定，分解产生其他物质(氢气及高级硼烷)，对乙硼烷混合气体的含量及纯度产生影响。

现有技术中对于充装过程中的温度升高，一般是采用生产环境空气自然降温的方法，等待时间降低了对混合气体的生产效率。

发明内容

背景技术中提出的充装过程中温度升高，采用生产环境空气自然降温的方法需要等待很长时间，降低了对混合气体的生产效率的问题，本发明提出了一种乙硼烷混合气体的制备系统及其制备方法，采用控温充装的方法来生产乙硼烷混合气体，改善了乙硼烷气体的稳定性，提高了混合气体的生产效率。具体技术方案如下：

一种乙硼烷混合气体制备系统，所述制备系统包括乙硼烷气瓶1、充气主管线2、真空系统3、低温冷阱4和控温充气装置5，所述乙硼烷气瓶1通过气管一11连接至充气主管线2和气体放空管路9，所述低温冷阱4内放置回收气瓶43，所述回收气瓶43通过气管二41连接至充气主管线2，所述控温充气装置5内放置若干目标充装气瓶51，每个所述目标充装气瓶51通过气管三52连接至充气主管线2，所述气管一11与充气主管线2之间连接处通过真空管线连接至真空系统3。

进一步的，所述气管一11上设置气动隔膜阀一12，所述气管二41上设置气动隔膜阀二42，每个所述气管三52上均设置气动隔膜阀三53，所述充气主管线2上设置气动隔膜阀四21与流量调节阀22；所述气体放空管路9上设置气动隔膜阀五91。

进一步的，所述气动隔膜阀一12与其他气动隔膜阀之间间隔处设置压力表6和压力变送器7，所述压力变送器7连接至PLC控制单元进行数据通讯。

进一步的，所述乙硼烷气瓶1放置在电子秤8上，所述电子秤8连接至PLC控制单元。

进一步的，所述控温充气装置5后侧及底部设置夹套，夹套之间相互连通，控温充气装置5底部设置低温液体进口54，上部设置低温液体出口55，所述低温液体进口54外管道上设置循环泵56，所述控温充气装置5顶部设置气瓶开口，气瓶开口部位设置工装对控温充气装置5进行密封，所述目标充装气瓶51外表面设置表面测温装置，连接至PLC控制单元。

进一步的，所述控温充气装置5中低温液体从低温液体进口54进入，从低温液体出口55出，形成循环，所述低温液体为水、甲醇、乙醇与乙二醇按照一定比例混合而成。