[发明专利]电子枪的阴极机构、电子枪以及电子束描绘装置

权利要求书

1.一种电子枪的阴极机构，其特征在于，具备：

晶体，通过加热而从一端面射出热电子；

保持部，在使所述一端面露出并覆盖了所述晶体的其他面的至少一部分的状态下保持所述晶体；

第一支柱和第二支柱，支承所述保持部，分别在维持了相同截面尺寸的状态下延伸；

第一基部，固定所述第一支柱；以及

第二基部，固定所述第二支柱，

所述保持部、所述第一支柱和所述第二支柱、所述第一基部和所述第二基部通过基于相同材料的一体构造而形成，通过使电流在所述一体构造中流动从而加热所述晶体。

2.如权利要求1所述的电子枪的阴极机构，其特征在于，

所述第一支柱和所述第二支柱具有三个边为直线且一个边为曲线的截面构造。

3.如权利要求1所述的电子枪的阴极机构，其特征在于，

所述晶体形成为圆柱状和圆锥台状中的至少一方的形状。

4.如权利要求1所述的电子枪的阴极机构，其特征在于，

所述第一支柱和所述第二支柱作为用于经由所述保持部加热所述晶体的加热器发挥功能。

5.如权利要求1所述的电子枪的阴极机构，其特征在于，

所述一端面内的晶体取向相同。

6.如权利要求1所述的电子枪的阴极机构，其特征在于，

作为所述一体构造的材料，使用石墨、钽、钨以及铱中的一个。

7.如权利要求1所述的电子枪的阴极机构，其特征在于，

从所述保持部的背面起，形成有在所述第一支柱与所述第二支柱之间以及所述第一基部与所述第二基部之间连续的相同宽度的空间。

8.如权利要求7所述的电子枪的阴极机构，其特征在于，

所述第一支柱和所述第二支柱具有三个边为直线且一个边为曲线的截面构造。

9.一种电子枪，其特征在于，具备：

权利要求1所述的电子枪的阴极机构；以及

阳极电极，被控制为与所述晶体相比的正电位的状态，用于引出从所述晶体射出的热电子。

10.一种电子束描绘装置，其特征在于，具备：

权利要求9所述的电子枪；以及

描绘机构，使用从所述电子枪射出的热电子向试样描绘图案。