[发明专利]一种高功率脉冲磁控溅射装置

权利要求书

1.一种高功率脉冲磁控溅射装置，其特征在于：

包括机柜(1)和设置于机柜(1)内部的脉冲磁控溅射装置(2)，所述脉冲磁控溅射装置(2)包括与机柜(1)相连的基座(3)、与基座(3)相连的电极(4)和套设在电极(4)外部的连接组件(5)，所述连接组件(5)包括连接套(51)、紧固装置(52)、卡合组件(7)和传动组件(8)；

所述卡合组件(7)包括卡合头(71)，所述基座(3)的一侧开设有容置电极(4)的电极孔(31)和设置在电极孔(31)外侧的台阶(32)，所述卡合头(71)通过螺杆(72)与连接套(51)螺合连接，所述卡合头(71)包括设置于螺杆(72)一端的头座(711)、片座(713)和设置于片座(713)内部的卡合片(714)，所述头座(711)通过铰链(712)与片座(713)铰接，所述卡合片(714)与台阶(32)活动连接。

2.根据权利要求1所述的一种高功率脉冲磁控溅射装置，其特征在于：所述传动组件(8)包括第一齿圈(81)、第二齿圈(83)、电机(84)和传动轮(85)，所述第一齿圈(81)通过连接臂(82)与第二齿圈(83)固定连接，所述电机(84)固定安装于连接套(51)的外部，所述电机(84)通过传动轮(85)与第二齿圈(83)啮合连接，所述螺杆(72)远离卡合头(71)的一端与齿轮(73)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种高功率脉冲磁控溅射装置，其特征在于：所述机柜(1)的内部设置有工作台(11)和滑屉(12)，所述工作台(11)与滑屉(12)滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种高功率脉冲磁控溅射装置，其特征在于：所述连接套(51)的内部开设有轮槽(511)，所述轮槽(511)的内部设置有滚轮(512)，所述滚轮(512)与电极(4)滚动连接。

5.根据权利要求1所述的一种高功率脉冲磁控溅射装置，其特征在于：所述紧固装置(52)包括螺栓(522)和吸盘(521)，所述螺栓(522)与连接套(51)螺合连接，所述吸盘(521)设置于螺栓(522)靠近电极(4)的一端。

6.根据权利要求1和3所述的一种高功率脉冲磁控溅射装置，其特征在于：所述机柜(1)的侧壁开设有丝杠(15)和丝杠套(16)的升降槽(14)，所述丝杠(15)的两端均通过轴承与升降槽(14)转动连接，所述丝杠套(16)套设于丝杠(15)的外部，所述丝杠套(16)与滑屉(12)固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种高功率脉冲磁控溅射装置，其特征在于：所述连接套(51)的外侧套设有绝缘圈(6)。

8.根据权利要求1所述的一种高功率脉冲磁控溅射装置，其特征在于：所述电极(4)呈圆形阵列分布，所述电极(4)与电极孔(31)一一对应。

9.根据权利要求1所述的一种高功率脉冲磁控溅射装置，其特征在于：所述机柜(1)的一侧铰接有门体(13)。

10.根据权利要求6所述的一种高功率脉冲磁控溅射装置，其特征在于：所述升降槽(14)的外侧套设有防护罩(17)。