[发明专利]钽制结构、测温孔结构、坩埚组件、测温孔防堵方法

权利要求书

1.一种钽制结构，其特征在于，所述钽制结构包括第一本体(10)和覆盖在所述第一本体(10)上的碳化钽层；其中所述第一本体(10)由铪、铌、锆、钨中的任意一种或几种金属制成。

2.一种制备权利要求1所述的钽制结构的制备方法，其特征在于，所述制备制备方法包括：将第一本体(10)埋没在碳粉中并经过2400℃以上的高温烧结处理，以使得所述所述第一本体(10)的外表面形成碳化钽层。

3.一种测温孔结构，其特征在于，所述测温孔结构包括：

第二本体(20)；

测温孔(30)，贯穿所述第二本体(20)；

权利要求1所述的钽制结构(40)或由权利要求2制备方法获得的钽制结构(40)，所述钽制结构(40)设置在所述测温孔(30)内并覆盖在所述测温孔(30)的内壁上。

4.根据权利要求3的测温孔结构，其特征在于，所述第二本体(20)为硬毡。

5.一种坩埚组件，其特征在于，所述坩埚组件包括：

坩埚，包括坩埚体(51)和坩埚盖(52)；其中，所述坩埚体(51)由第一石墨制成，所述坩埚体(51)包括相互之间可拆卸连接的坩埚上截(53)和坩埚下截(54)；所述坩埚盖(52)由第二石墨制成，与所述坩埚体(51)可拆卸连接并与所述坩埚体(51)形成容置腔体(60)。

权利要求3-4中任意一项所述的测温孔结构，所述测温孔结构设置在所述坩埚的上下两端。

6.根据权利要求5所述的坩埚组件，其特征在于，所述第二石墨的孔隙率小于所述第一石墨的孔隙率。

7.根据权利要求5所述的坩埚组件，其特征在于，所述坩埚盖(52)与所述坩埚体(51)螺纹连接；所述坩埚上截(53)和所述坩埚下截(54)螺纹连接。

8.根据权利要求7所述的坩埚组件，其特征在于，所述坩埚盖(52)与所述坩埚上截(53)的连接处设置有第一内螺纹(52a)；所述坩埚上截(53)与所述坩埚盖(52)的连接处设置有与所述第一内螺纹(52a)适配的第一外螺纹(53a)；所述坩埚上截(53)与所述坩埚下截(54)的连接处设置有第二内螺纹(53b)；所述坩埚下截(54)与所述坩埚上截(53)的连接处设置有与所述第二内螺纹(53b)适配的第二外螺纹(54a)；所述第一内螺纹(52a)和所述第二内螺纹(53b)的热膨胀系数低于所述第一外螺纹(53a)和所述第二外螺纹(54a)的系数。

9.根据权利要求5所述的坩埚组件，其特征在于，所述坩埚还包括保温层(70)，所述保温层(70)包裹在所述坩埚的外周。

10.根据权利要求9所述的坩埚组件，其特征在于，所述保温层(70)为软毡。

11.一种测温孔防堵方法，其特征在于，所述测温孔防堵方法包括利用权利要求5-10中任意一项所述的坩埚组件，使得在制备碳化硅晶体时，防止从原料区升华的气体堵塞在所述测温孔(30)中。

12.一种碳化硅晶体制备方法，其特征在于，包括权利要求5-10中任意一项所述的坩埚组件，所述碳化硅晶体制备方法包括：

在所述容置腔体(60)内加载适量碳化硅粉料；

在所述坩埚盖(52)的下端面放置籽晶(20a)；

将碳化硅粉料加热至碳化硅的升华温度，同时控制所述籽晶(20a)附近的温度低于该升华温度，以使得碳化硅气体凝华在所述籽晶处，以获取碳化硅晶体。