[发明专利]一种薄膜传感器及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202210173379.0 申请日: 2022-02-24
公开(公告)号: CN114659542A 公开(公告)日: 2022-06-24
发明(设计)人: 刘欣;常飞;杜炳纯;张殿德 申请(专利权)人: 森霸传感科技股份有限公司
主分类号: G01D5/14 分类号: G01D5/14
代理公司: 广州市红荔专利代理有限公司 44214 代理人: 余志军
地址: 473300*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 一种 薄膜 传感器 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种薄膜传感器,其特征在于,包括薄片基材(1),所述薄片基材(1)的表面设置有传感电极圈(2),所述薄片基材(1)的边缘位置固定连接有裙带膜(3),所述裙带膜(3)的两侧固定连接有封边垫(4),所述封边垫(4)的顶部开设有定位槽(5),所述封边垫(4)的侧面固定连接有定位片(6),所述定位片(6)的表面开设有安装孔(7)。

2.根据权利要求1所述的一种薄膜传感器,其特征在于,所述薄片基材(1)的背面固定连接有电极板(8),所述电极板(8)的内部设置有导线条(9),所述导线条(9)与传感电极圈(2)电性连接。

3.根据权利要求1所述的一种薄膜传感器,其特征在于,所述薄片基材(1)的背面设置有定位垫片(10),所述定位垫片(10)的底部固定连接有基板(11)。

4.根据权利要求1所述的一种薄膜传感器,其特征在于,所述薄片基材(1)的表面固定连接有防腐蚀薄膜(12),所述防腐蚀薄膜(12)的边缘部位固定连接在封边垫(4)的内侧。

5.一种薄膜传感器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

S1、配料:选购薄片基材(1)、传感电极圈(2)、导线条(9)、基板(11)、防腐蚀薄膜(12)及相关辅材;

S2、粗裁剪:将薄片基材(1)原版进行定型裁剪,根据使用需求裁剪为矩形、圆形或椭圆形,保留定位片(6)的版片,对表面进行清洁处理;

S3、制成胶垫:将凝胶颗粒及相关辅料经过混合加热后,利用设置有压条凹槽的模压机将封边垫(4)模压成型制成封边垫(4)及定位槽(5);

S4、预固定:添加粘合辅料,利用热熔工艺将定位垫片(10)熔接在薄片基材(1)上;

S5、熔合:将薄片基材(1)冷却清洁后,排版定位,薄片基材(1)表面沉积过渡层薄膜和传感电极圈(2)等相关的薄膜材料,将防腐蚀薄膜(12)设置在传感电极圈(2)的表面,将防腐蚀薄膜(12)的边缘部位熔接在封边垫(4)的内侧,镀层复压后进行熔合高温保压;

S6、干燥:将成品在较低温度下进行干燥处理;

S7、精修剪:精细修建成品边缘部位,并利用打孔机打出定位孔孔位;

S8、制成:将定位垫片(10)熔接在基板(11)上,将基板(11)粘接在封边垫(4)的底部;

S9、包装;将成品包装出库。

6.根据权利要求5所述的一种薄膜传感器的制备方法,其特征在于,所述S3中的混合物在温度为50℃~90℃下进行混合工作。

7.根据权利要求5所述的一种薄膜传感器的制备方法,其特征在于,所述S5中的熔合温度为80℃~120℃,熔合气氛为真空。

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