[发明专利]一种激光器能量测量装置

权利要求书

1.一种激光器能量测量装置，其特征在于，包括：沿激光放电腔出光方向依次设置的第一匀光组件、光空间分布调节元件和光电探测器；

所述光空间分布调节元件用于对照射在所述光电探测器上的激光进行光强空间调节。

2.根据权利要求1所述的激光器能量测量装置，其特征在于，所述光空间分布调节元件为空间分布可调光阑、空间光调制器或微镜阵列中的一种。

3.根据权利要求1所述的激光器能量测量装置，其特征在于：所述光空间分布调节元件为空间分布可调光阑；所述空间分布可调光阑包括：第一光阑和第二光阑，在所第一光阑和第二光阑上自中心向外不同半径位置沿周向分布有不同组小孔；

所述第一光阑和第二光阑叠放在一起，相应位置小孔相对准，可透过最大光强，通过调整第一光阑和第二光阑的相对角度，相应位置小孔产生错位，可调节透过所述光空间分布调节元件的光强分布。

4.根据权利要求3所述的激光器能量测量装置，其特征在于：在所述第一光阑和第二光阑中的每一个上半径相同位置的小孔大小相同，远离光阑中心位置的小孔尺寸大于接近中心位置的小孔的尺寸。

5.根据权利要求3或4所述的激光器能量测量装置，其特征在于，所述第一光阑和第二光阑上的小孔形状不同。

6.根据权利要求3或4所述的激光器能量测量装置，其特征在于，所述第一光阑上小孔为圆形孔，所述第二光阑上小孔为方形孔。

7.根据权利要求1至4任一所述的激光器能量测量装置，其特征在于，还包括第二匀光组件，所述第二匀光组件设置于光空间分布调节元件和光电探测器之间。

8.根据权利要求1所述的激光器能量测量装置，其特征在于，在所述第一匀光组件来光方向一侧还设置有正交分布的第一分束镜和第二分束镜。

9.根据权利要求1所述的激光器能量测量装置，其特征在于，所述第一匀光组件为毛玻璃或相位匀光组件。

10.一种准分子激光器，其特征在于，包括上述权利要求1-9任一所述的激光器能量测量装置。