[发明专利]碲锌镉探测器与碲锌镉探测器的栅极钝化方法

权利要求书

1.一种碲锌镉探测器的栅极钝化方法，其特征在于，包括：

对制备有阳极的碲锌镉晶片的上表面进行光刻处理，在阳极的表面覆盖第一厚度的光刻胶层，将栅极露出；

对碲锌镉晶片的上表面进行化学抛光处理，去除栅极的表面的富碲层，基于化学抛光的反应产物在栅极的表面形成高阻钝化层，并使得阳极的表面保留第二厚度的光刻胶层；

其中，所述第一厚度大于或等于所述第二厚度，所述第二厚度大于零；

对所述碲锌镉晶片的上表面进行化学抛光处理的步骤，包括：

在抛光液辅助的情形下，采用抛光垫对碲锌镉晶片的上表面进行抛光处理；

其中，所述抛光液为反应液与研磨液的混合液；所述反应液用于与所述栅极的表面进行化学反应；所述研磨液用于辅助所述抛光垫对所述光刻胶层进行抛光处理，以及辅助所述抛光垫去除所述栅极的表面不溶解的反应产物。

2.根据权利要求1所述的碲锌镉探测器的栅极钝化方法，其特征在于，在抛光垫采用长绒毛抛光垫的情形下，对所述碲锌镉晶片的上表面进行化学抛光处理的步骤，包括：

控制所述抛光液以1~3滴/秒的供液速率滴在所述长绒毛抛光垫上，以及控制所述长绒毛抛光垫的抛光速度为20~40转/分钟，抛光时间为10~60分钟；

其中，所述抛光液采用所述反应液与所述研磨液配比而成，所述反应液与所述研磨液的体积比为1:（1~5）；所述长绒毛抛光垫上长绒毛的长度为100~1500微米。

3.根据权利要求1所述的碲锌镉探测器的栅极钝化方法，其特征在于，所述反应液采用氟化铵与双氧水的混合液；或者，所述反应液为氢氧化钾与双氧水的混合液。

4.根据权利要求3所述的碲锌镉探测器的栅极钝化方法，其特征在于，所述反应液采用氟化铵与双氧水配比而成，所述氟化铵选用的浓度为10wt%，所述双氧水选用的浓度为30wt%，所述氟化铵与所述双氧水的体积比为3：（1~2）；

或者，所述反应液采用氢氧化钾与双氧水配比而成，所述氢氧化钾选用的浓度为15wt%，所述双氧水选用的浓度为30wt%，所述氢氧化钾与所述双氧水的体积比2:（1~3）。

5.根据权利要求1所述的碲锌镉探测器的栅极钝化方法，其特征在于，所述研磨液包括抛光粉，所述抛光粉包括纳米级氧化铝、纳米级氧化硅、纳米级氧化铈当中的至少一种组分，所述抛光粉的粒度为50~200nm。

6.根据权利要求1至5任一所述的碲锌镉探测器的栅极钝化方法，其特征在于，还包括：将经过化学抛光处理后的碲锌镉晶片浸入至有机溶剂中，去除阳极表面的光刻胶。

7.根据权利要求6所述的碲锌镉探测器的栅极钝化方法，其特征在于，所述有机溶剂包括甲醇、乙醇、异丙醇及丙酮当中的任一种组分。

8.根据权利要求1至5任一所述的碲锌镉探测器的栅极钝化方法，其特征在于，所述对制备有阳极的碲锌镉晶片的上表面进行光刻处理的步骤，包括：

涂胶步骤，在碲锌镉晶片的上表面涂覆一层光刻胶膜；

烤胶步骤，对光刻胶膜进行烘烤，使得光刻胶膜内的溶剂挥发；对准曝光步骤，采用掩模板对准阳极所在的区域进行曝光，确保曝光区域覆盖阳极的表面；

烘烤步骤，对曝光处理后的光刻胶膜进行烘烤，消除驻波效应；

显影步骤，采用显影液溶解掉曝光区域之外的光刻胶膜，以在阳极的表面制备得到光刻胶层。

9.一种碲锌镉探测器，其特征在于，所述碲锌镉探测器采用如权利要求1至8任一所述的碲锌镉探测器的栅极钝化方法制备获得。