[发明专利]一种用于产生高准直度原子束流的内加热超高温装置

权利要求书

1.一种用于产生高准直度原子束流的内加热超高温装置，其特征在于所述装置本体外侧设置有真空腔外壳；所述真空腔外壳的一端分别设置有法兰电极、电穿心和冷却水的流通的水穿心；所述真空腔外壳一端的外侧设置有抽气开口；

所述真空腔外壳内设置有水冷设备，所述水冷设备由水冷内壁，水冷管道，水冷外壁组成；所述真空腔外壳内还设置有用于支撑加热器和所述水冷设备的陶瓷底座；

所述加热器用于对坩埚主体进行加热，并且所述加热器套入于所述坩埚主体；所述坩埚主体的一端设置有原子炉炉盖；与所述原子炉炉盖同侧且位于所述真空腔外壳另一端设置有出射法兰。

2.根据权利要求1所述的一种用于产生高准直度原子束流的内加热超高温装置，其特征在于所述电穿芯呈环形设置于所述真空腔外壳的一端；所述电穿芯的数量至少为六个。

3.根据权利要求1所述的一种用于产生高准直度原子束流的内加热超高温装置，其特征在于所述水冷管道具体为由紫铜材料制作成的圆形细管，并且S型盘绕在所述水冷外壁的表面上。

4.根据权利要求1或3所述的一种用于产生高准直度原子束流的内加热超高温装置，其特征在于所述水冷设备具体为于腔体以内并且与真空腔外壳贴合设置。

5.根据权利要求1所述的一种用于产生高准直度原子束流的内加热超高温装置，其特征在于所述陶瓷底座具体为五边形陶瓷底座。

6.根据权利要求1所述的一种用于产生高准直度原子束流的内加热超高温装置，其特征在于所述加热器外侧设置有用于固定加热丝的固定栅栏。

7.根据权利要求1或6所述的一种用于产生高准直度原子束流的内加热超高温装置，其特征在于所述加热丝长度为90mm；内径为0.8mm；并且所述加热丝具体由导热效率高的陶瓷材料制作而成的陶瓷柱。

8.根据权利要求1所述的一种用于产生高准直度原子束流的内加热超高温装置，其特征在于所述坩埚主体具体为用钽制作而成。

9.根据权利要求1所述的一种用于产生高准直度原子束流的内加热超高温装置，其特征在于所述原子炉炉盖上设置有炉盖定位孔和原子出射孔。

10.根据权利要求9所述的一种用于产生高准直度原子束流的内加热超高温装置，其特征在于所述原子出射孔设置有圆形紧密排布毛细管阵列；

所述毛细管长为25mm，内径为0.5mm；数量为30根。