[发明专利]一种极紫外光源的液滴锡靶供应装置

权利要求书

1.一种极紫外光源的液滴锡靶供应装置，其特征在于，包括装置壳体和设置于所述装置壳体内的声学产生及传播装置，所述装置壳体包括主壳体和设置在上的第一端盖板、第二端盖板，所述第一端盖板上集成有存储液态锡的腔室以及与该腔室相连的小孔盖板，所述存储液态锡的腔室连接有供料管，所述小孔盖板上设有供锡液滴流流动的小孔，第一端盖板上还连接有集成加压装置和温度调节装置，所述集成加压装置用于向存储液态锡的腔室中加压，得到连续的锡喷射流，所述温度调节装置用于调节第一端盖板的温度，所述声学产生及传播装置的输出端与所述存储液态锡的腔室相连，其用于将连续的锡喷射流变为稳定的锡液滴流，所述声学产生及传播装置配套有主动制冷装置，所述第二端盖板上设有供主动制冷装置连接的通道。

2.根据权利要求1所述的极紫外光源的液滴锡靶供应装置，其特征在于，所述温度调节装置包括加热棒和温度探头，通过读取温度探头处温度，反馈调节各个加热棒两端的电压。

3.根据权利要求1所述的极紫外光源的液滴锡靶供应装置，其特征在于，所述声学产生及传播装置的输出端通过特制件与第一端盖板上的存储液态锡的腔室相连，所述特制件包括薄膜和尾杆，所述特制件一侧为第一端盖板，另一侧为特制件盖板，声学产生及传播装置的输出端与特制件尾杆进行连接，将产生的声学振动传到特制件薄膜上，从而驱动锡滴产生装置产生稳定的锡滴。

4.根据权利要求3所述的极紫外光源的液滴锡靶供应装置，其特征在于，所述第二端盖板上集成有气压平衡管路，所述气压平衡管路用于平衡薄膜两侧的压力。

5.根据权利要求1或3所述的极紫外光源的液滴锡靶供应装置，其特征在于，所述声学产生及传播装置包括压电陶瓷盖帽、压电陶瓷、压电陶瓷底座以及声学传送杆，所述压电陶瓷的输出端与所述声学传送杆相连，所述压电陶瓷安装在压电陶瓷底座上，所述压电陶瓷盖帽压紧在所述压电陶瓷上。

6.根据权利要求5所述的极紫外光源的液滴锡靶供应装置，其特征在于，形成的锡液滴靶的大小、间距、频率基于调节压电陶瓷的激励信号来进行调节。

7.根据权利要求1所述的极紫外光源的液滴锡靶供应装置，其特征在于，所述主动制冷装置包括制冷第一端盖板、制冷第二端盖板和制冷储液室，液冷管路通过液冷管路压板安装在安装在第二端盖板上，所述液冷管路的输出端经过声学产生及传播装置的压电陶瓷底座后，伸入制冷第一端盖板和制冷第二端盖板之间的制冷储液室中，所述制冷储液室包裹在声学产生及传播装置的声学传送杆外侧。

8.根据权利要求1所述的极紫外光源的液滴锡靶供应装置，其特征在于，极紫外光源的液滴锡靶供应装置工作状态下主体部分处于真空环境中，第一端盖板、第二端盖板以及主壳体均具有预设厚度，至少可以承受小孔锡液喷射状态下的工作压力。

9.根据权利要求1所述的极紫外光源的液滴锡靶供应装置，其特征在于，主动制冷装置与第一端盖板之间设有用于隔热的支撑件。

10.根据权利要求1所述的极紫外光源的液滴锡靶供应装置，其特征在于，第一端盖板上的小孔固定通过小孔盖板进行配合压紧，通过挤压第一端盖板和小孔盖板之间的第一垫圈进行密封，第一端盖板上有可以和小孔盖板进行配合的定位槽口，便于小孔盖板的中心孔和小孔进行圆心重合。