[发明专利]挥发性有机化合物的去除系统及其方法

权利要求书

1.一种挥发性有机化合物(volatile organic compound；VOC)去除方法，其特征在于，包含：

利用一VOC去除系统从一半导体制程的一废液中去除多个VOC；

将该VOC去除系统的多个参数提供给经一机器学习过程训练后的一分析模型；

利用该分析模型基于该些参数产生一预测的未来VOC去除效率；

利用该分析模型基于该预测的未来VOC去除效率及该些参数产生多个调整参数；及

基于该些调整参数调整该VOC去除系统。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，产生该些调整参数的步骤包含：利用该分析模型识别预测会导致改良的VOC去除效率的对该VOC去除系统的改变。

3.一种挥发性有机化合物(volatile organic compound；VOC)去除系统，其特征在于，包含：

一VOC浓缩器转子，配置以从来自一半导体制程的一废液的一第一部分中吸附多个VOC且将该些VOC脱附至该废液的一第二部分；

一脱附风扇，配置以驱动该废液的该第二部分通过该VOC浓缩器转子的一脱附区；

一燃烧器，配置以燃烧来自该废液的该第二部分的该些VOC；及

一控制系统，包含一分析模型，该分析模型经一机器学习过程进行训练，且配置以分析该VOC浓缩器转子、该脱附风扇及该燃烧器的多个参数，并配置以基于该些参数产生一预测的未来VOC去除效率，并基于该些参数及该预测的未来VOC去除效率产生多个调整参数，该控制系统配置以基于该些调整参数调整该VOC浓缩器转子、该脱附风扇及该燃烧器的操作。

4.根据权利要求3所述的VOC去除系统，其特征在于，该分析模型包括：

一编码器，配置以产生该预测的未来VOC去除效率；及

一解码器，配置以产生该些调整参数。

5.根据权利要求3所述的VOC去除系统，其特征在于，进一步包含一第一温度感测器，该第一温度感测器定位成与该VOC浓缩器转子相邻且配置以感测该VOC浓缩器转子的一温度，其中该些参数包含该VOC浓缩器转子的该温度。

6.根据权利要求5所述的VOC去除系统，其特征在于，进一步包含一第二温度感测器，该第二温度感测器定位成与该VOC浓缩器转子的一上游侧相邻，该第一温度感测器定位成与该VOC浓缩器转子的一下游侧相邻，其中该些参数包含由该第一温度感测器感测的该温度及该第二温度感测器感测的一温度。

7.根据权利要求3所述的VOC去除系统，其特征在于，进一步包含一热交换器，该热交换器配置以从在该燃烧器的下游的该废液的该第二部分中接收热量，且将热量提供给在该VOC浓缩器转子的该脱附区的上游的该废液的该第二部分。

8.根据权利要求3所述的VOC去除系统，其特征在于，进一步包含一VOC感测器，该VOC感测器配置以感测该废液中的入口的该些VOC。

9.一种挥发性有机化合物(volatile organic compound；VOC)去除方法，其特征在于，包含：

将来自一半导体制程的一废液传递至一VOC浓缩器转子；

利用该VOC浓缩器转子从该废液的一第一部分中吸附多个VOC；

将该废液的一第二部分自该VOC浓缩器转子传递至一加热器；

将该废液的该第二部分自该加热器传递至该VOC浓缩器转子；

通过操作与该VOC浓缩器转子相邻的一脱附风扇将该些VOC自该VOC浓缩器转子脱附至该废液的该第二部分；

利用一燃烧器燃烧来自该废液的该第二部分的该些VOC；

量测该VOC浓缩器转子的一温度；

利用经一机器学习过程训练后的一分析模型至少部分地基于该VOC浓缩器转子的该温度产生一预测的未来VOC去除效率；

利用该分析模型基于该预测的未来VOC去除效率及该VOC浓缩器转子的该温度产生多个调整参数；及

基于该些调整参数调整该VOC浓缩器转子的一旋转速度及该燃烧器的一温度。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，进一步包含：量测一当前VOC去除效率及基于该当前VOC去除效率产生该些调整参数。