[发明专利]可视化的真空阴极磁过滤装置有效
申请号: | 202210184605.5 | 申请日: | 2022-02-28 |
公开(公告)号: | CN114457310B | 公开(公告)日: | 2023-08-29 |
发明(设计)人: | 曹时义;周敏;王俊锋 | 申请(专利权)人: | 广东鼎泰高科技术股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32;C23C14/52 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 王志 |
地址: | 523071 广东省东莞市厚*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 可视化 真空 阴极 过滤 装置 | ||
1.一种可视化的真空阴极磁过滤装置,包括管道,其特征在于:所述管道上开设至少一个第一镶嵌口,所述第一镶嵌口上嵌设有透明板,所述透明板沿管道长度方向延伸,所述透明板与第一镶嵌口相对密封固定,所述透明板呈双层透明结构,所述透明板包括内层透明板和外层透明板,所述内层透明板与所述外层透明板之间的空间形成第一冷却水通道,所述外层透明板上设有进水口和出水口,所述进水口和出水口与所述第一冷却水通道连通,所述透明板为至少一个,所述透明板的侧壁上包覆铜电极,所述铜电极与第一镶嵌口密封连接,所述铜电极与直流电电性连接;
所述透明板为三个,沿管道侧壁均匀布置,三个透明板上包覆的铜电极分别为第一铜电极、第二铜电极和第三铜电极,所述直流电分别为第一直流电、第二直流电和第三直流电,所述第一铜电极、第二铜电极和第三铜电极分别电性连接第一直流电、第二直流电和第三直流电,所述真空阴极磁过滤装置还包括控制器,所述控制器控制第一铜电极、第二铜电极和第三铜电极中的两个电极同时带电,另一电极不带电,并进行切换;或
所述管道上还开设有第二镶嵌口,所述第二镶嵌口上嵌设有纯铜电极,所述纯铜电极沿管道长度方向延伸,所述纯铜电极与所述第二镶嵌口相对密封固定,所述透明板为对称布置的两个,两个透明板上包覆的铜电极分别为第四铜电极和第五铜电极;所述纯铜电极为对称布置的两个,分别为第一纯铜电极和第二纯铜电极,所述直流电分别为第四直流电、第五直流电和第六直流电,所述第一纯铜电极和第二纯铜电极均电性连接第四直流电,所述第四铜电极、第五铜电极分别电性连接第五直流电和第六直流电,所述第一纯铜电极、第四铜电极、第二纯铜电极、第五铜电极依次均匀布置,将第一纯铜电极和第二纯铜电极作为第一组电极,将第四铜电极作为第二组电极,将第五铜电极作为第三组电极,所述真空阴极磁过滤装置还包括控制器,所述控制器控制第一组电极、第二组电极和第三组电极中两组电极同时带电,另一组电极不带电,并进行切换。
2.如权利要求1所述的可视化的真空阴极磁过滤装置,其特征在于:还包括设置在管道上的若干排永磁体,每排永磁体沿着管道长度方向布置,每个永磁体的磁性同向,所述永磁体布置在透明板的两侧。
3.如权利要求2所述的可视化的真空阴极磁过滤装置,其特征在于:所述管道上对应永磁体设有安装槽,所述永磁体安装在安装槽内。
4.如权利要求1所述的可视化的真空阴极磁过滤装置,其特征在于:还包括导电环、脉冲偏压电源和电位中和器,所述导电环安装在管道的出口处,所述导电环、电位中和器均与铜电极电性连接,所述导电环与控制器电性连接,所述脉冲偏压电源与控制器电性连接。
5.如权利要求1所述的可视化的真空阴极磁过滤装置,其特征在于:还包括管道上间隔设置的线包单元,所述线包单元围绕在管道的侧壁上以提供管道腔体内等离子体运行的电场和磁场,所述线包单元间隔设置。
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