[发明专利]一种碳化硅晶体生长用输送系统有效
申请号: | 202210184904.9 | 申请日: | 2022-02-28 |
公开(公告)号: | CN114232106B | 公开(公告)日: | 2022-05-17 |
发明(设计)人: | 陆敏;刘付冠;郑红军 | 申请(专利权)人: | 常州臻晶半导体有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 常州市科谊专利代理事务所 32225 | 代理人: | 钮云涛 |
地址: | 213000 江苏省常州市武进国家高*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 碳化硅 晶体生长 输送 系统 | ||
1.一种碳化硅晶体生长用输送系统,其特征在于,包括:
第一反应釜、丝杆机构、活动盘、安装盘、破碎机构、搅拌机构和输送机构;其中
所述第一反应釜内设置有储存腔,以用于储存物料;
所述丝杆机构纵向设置在第一反应釜内,所述活动盘活动连接在丝杆机构上,所述安装盘固定在活动盘的底部,所述破碎机构固定在安装盘的底部,所述搅拌机构活动设置在安装盘的周向上;
所述丝杆机构驱动活动盘纵向移动,且所述活动盘在纵向移动过程中在丝杆机构上转动,即
所述安装盘带动破碎机构对储存腔内块状物料进行破碎,以将块状物料破碎、研磨成粉状物料;
所述安装盘带动搅拌机构对储存腔内物料进行搅拌,并使物料朝向所述破碎机构收拢;
所述搅拌机构在安装盘上摆动,且当所述搅拌机构抵住活动盘或储存腔底部时进行打磨、刮料;以及
所述输送机构将破碎、搅拌后的物料输送至第二反应釜;
所述丝杆机构包括:丝杆、丝杆螺母、移动杆和丝杆电机;
所述丝杆纵向设置在第一反应釜内,所述丝杆螺母活动设置在丝杆上,所述移动杆的一端与第一反应釜的内壁活动连接,所述移动杆的另一端与丝杆螺母固定;
所述活动盘与丝杆螺母的底部活动连接,所述活动盘还与丝杆活动连接;
所述丝杆电机驱动丝杆转动,以使所述丝杆螺母沿丝杆长度方向进行纵向移动,即
所述丝杆带动活动盘转动,且所述丝杆螺母带动活动盘纵向移动;
所述丝杆穿过丝杆螺母、活动盘、安装盘;
所述丝杆螺母的内侧壁上开设转动T形槽,所述活动盘的顶部向上延伸形成连接板,且在所述连接板上对应转动T形槽位置处设置第一T形块,以使所述活动盘与丝杆螺母活动限位连接;
所述丝杆上开设移动T形槽,所述活动盘的内壁朝向移动T形槽延伸形成第二T形块,以使所述活动盘与丝杆活动限位连接,即
所述活动盘在丝杆螺母带动下纵向移动,并随所述丝杆转动;
所述破碎机构包括:若干破碎齿;
各所述破碎齿均匀排列并径向设置在安装盘的底部;
所述安装盘在纵向移动并转动过程中带动各破碎齿抵住物料进行破碎;
所述安装盘的周向设置若干安装槽,各所述安装槽内设置有滑动杆;
所述搅拌机构包括:若干搅拌组件;
各所述搅拌组件铰接在对应安装槽内的滑动杆上;
各所述搅拌组件在滑动杆上滑动,并绕所述滑动杆转动,即
所述安装盘带动各搅拌组件转动,以使各搅拌组件在相应滑动杆转动以对储存腔内物料进行搅拌,并将物料朝向所述破碎机构收拢;
各搅拌组件向下运动抵住物料时,各搅拌组件在相应滑动杆上摆动,并抵住活动盘的底部进行打磨、刮料,或
各搅拌组件向下运动抵住储存腔底部,直至各搅拌组件在相应滑动杆上摆动抵住活动盘的底部,以使各搅拌组件对活动盘、储存腔底部进行打磨、刮料;
所述搅拌组件包括:铰接套、铰接杆和搅拌板;
所述铰接杆的一端连接铰接套,所述铰接杆的另一端连接搅拌板,所述铰接套活动套装在滑动杆上;
所述搅拌板呈倾斜设置,且所述搅拌板两侧呈刃口设置;
所述铰接套在滑动杆上滑动,并绕所述滑动杆转动,即
所述搅拌板在安装盘转动时,以对物料进行搅拌并朝向所述破碎机构收拢;
所述安装盘带动搅拌板的一侧抵住储存腔底部,直至所述搅拌板的另一侧抵住活动盘的底部,使所述搅拌板两侧分别对活动盘、储存腔底部进行打磨、刮料;
所述滑动杆的上方、下方均设置有气囊,各所述气囊朝向滑动杆设置有喷油孔,且各所述气囊中储存有润滑油;
所述铰接套与铰接杆连接处设置有防尘套,且所述防尘套将安装槽密封,即
所述搅拌板在滑动杆上摆动时,所述铰接套、铰接杆抵住相应气囊通过喷油孔向滑动杆喷出润滑油,且所述铰接套在滑动杆上滑动进行润滑。
2.如权利要求1所述的碳化硅晶体生长用输送系统,其特征在于,
各所述安装槽间隔设置,所述铰接套在滑动杆上滑动时,当所述铰接套与安装槽的槽壁碰撞,即
抖动所述搅拌板将物料振落。
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