[发明专利]在线高空间和时间分辨极紫外辐照损伤泵浦-探测系统

权利要求书

1.一种在线高空间和时间分辨极紫外辐照损伤泵浦-探测系统，其特征在于，包括激光光源组件(1)、激光等离子体光源组件(2)、极紫外纳秒泵浦光路组件(3)、红外飞秒探测成像光路组件(5)和激光延时探测组件(6)，所述激光等离子体光源组件(2)和极紫外纳秒泵浦光路组件(3)形成用于放置样品(803)的真空腔体，其中，

所述激光光源组件(1)包括红外飞秒激光器(101)和红外纳秒激光器(104)，所述红外飞秒激光器(101)和红外纳秒激光器(104)基于设定时序控制产生红外飞秒探测激光和红外纳秒泵浦光，所述红外纳秒泵浦光依次经激光等离子体光源组件(2)和极紫外纳秒泵浦光路组件(3)后，产生极紫外纳秒泵浦光并辐照样品(803)，形成损伤区，所述红外飞秒探测光经红外飞秒探测成像光路组件(5)后，辐照样品(803)的损伤区，损伤区的散射光经极紫外纳秒泵浦光路组件(3)和红外飞秒探测成像光路组件(5)实现成像，获得样品损伤区域形貌图；

所述激光延时探测组件(6)分别连接激光等离子体光源组件(2)和红外飞秒探测成像光路组件(5)，测量飞秒探测激光电信号和纳秒泵浦光电信号的时间抖动均方根误差，获得系统的时间分辨率。

2.根据权利要求1所述的在线高空间和时间分辨极紫外辐照损伤泵浦-探测系统，其特征在于，所述激光光源组件(1)还包括相连接的两个脉冲信号发生器，各所述脉冲信号发生器分别对应连接红外飞秒激光器(101)和红外纳秒激光器(104)，所述脉冲信号发生器与红外飞秒探测成像光路组件(5)连接，以触发成像。

3.根据权利要求2所述的在线高空间和时间分辨极紫外辐照损伤泵浦-探测系统，其特征在于，所述脉冲信号发生器为DG645脉冲信号发生器，所述红外飞秒激光器(101)为Ti:Sapphire红外飞秒激光器，所述红外纳秒激光器(104)为Nd:YAG红外纳秒激光器。

4.根据权利要求1所述的在线高空间和时间分辨极紫外辐照损伤泵浦-探测系统，其特征在于，所述激光等离子体光源组件(2)包括用于放置靶材(208)的靶材真空腔室(201)，该靶材真空腔室(201)外设置第一高反镜(202)和第一分光镜(203)，靶材真空腔室(201)内设置有聚焦镜(205)和平板石英玻璃(206)，靶材真空腔室(201)的腔壁上开设有多个安装有第一石英玻璃窗(204)的通孔，所述红外纳秒激光器(104)发出的红外纳秒泵浦光依次经第一高反镜(202)、第一分光镜(203)、第一石英玻璃窗(204)、聚焦镜(205)和平板石英玻璃(206)聚焦于可旋转运动的靶材(208)上，产生激光等离子体光源。

5.根据权利要求4所述的在线高空间和时间分辨极紫外辐照损伤泵浦-探测系统，其特征在于，所述极紫外纳秒泵浦光路组件(3)包括用于放置样品(803)的物镜腔室(302)，该物镜腔室(302)与靶材真空腔室(201)连通，形成所述真空腔体，物镜腔室(302)内设置有改进型施瓦兹希尔德物镜(301)、反射镜(303)和锆滤片(304)，所述激光等离子体光源依次经锆滤片(304)、反射镜(303)和改进型施瓦兹希尔德物镜(301)后，聚焦于样品(803)表面，所述反射镜(303)以半挡光的形式设置。