[发明专利]一种真空激光透射镜片保护系统及方法

权利要求书

1.一种真空激光透射镜片保护系统，其特征在于，包括：

激光透射模块(1)、滑动密封模块(3)和防飞溅模块(5)，所述激光透射模块(1)固定于所述滑动密封模块(3)上作为激光从系统外部射入真空舱的通道，所述滑动密封模块(3)用于驱动所述激光透射模块(1)在垂直激光入射方向的平面内滑动，所述防飞溅模块(5)固定于所述滑动密封模块(3)底部，用于引导气流，抑制焊接飞溅和烟尘污染；

所述激光透射模块(1)包括沿光路设置的密封镜筒(11)、保护镜筒(12)和可替换镜筒(13)，三者中心都设有供激光通过的通孔，所述可替换镜筒(13)竖直固定于所述滑动密封模块(3)上，所述可替换镜筒(13)包括进气口(131)，通过外接气源通入气体，在所述可替换镜筒(13)内形成正压抑制金属蒸汽及焊接烟尘，所述密封镜筒(11)内设有冷却水道(116)，用于通入循环冷却水对其内镜片进行降温。

2.根据权利要求1所述的一种真空激光透射镜片保护系统，其特征在于，所述保护镜筒(12)包括过滤棉(121)、保护镜片(122)和镜片抽屉，所述保护镜片(122)和所述过滤棉(121)设于保护镜片抽屉内，该抽屉与所述保护镜筒(12)滑动连接，抽出所述保护镜片抽屉能更换所述保护镜片(122)和所述过滤棉(121)，所述过滤棉(121)设于所述保护镜片(122)周侧，所述保护镜片(122)和所述过滤棉(121)用于防止烟尘上升。

3.根据权利要求1所述的一种真空激光透射镜片保护系统，其特征在于，所述密封镜筒(11)包括第一密封座(111)、密封镜片(112)、第二密封座(113)、第二密封圈(114)、冷却水接口(115)和冷却水道(116)，所述第一密封座(111)固定于所述第二密封座(113)上，两者之间设有所述密封镜片(112)，所述第二密封圈(114)分别夹持设于所述密封镜片(112)与所述第一密封座(111)和所述第二密封座(113)之间，所述第二密封圈(114)对所述密封镜片(112)密封；

所述冷却水接口(115)设有两个，固定于所述第二密封座(113)，所述冷却水道(116)设于所述第二密封座(113)内，该水道环绕所述第二密封座(113)上的通孔设置，两个所述冷却水接口(11)分别与所述冷却水道(116)的两端连通，所述冷却水接口(11)连通外接水源。

4.根据权利要求1所述的一种真空激光透射镜片保护系统，其特征在于，所述可替换镜筒(13)包括进气口(131)，该进气口外接气源，气体通入所述可替换镜筒(13)正压。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的一种真空激光透射镜片保护系统，其特征在于，所述滑动密封模块(3)包括驱动电机(31)、护罩(32)、密封盖板(33)、滑动导轨(35)、滑动平台(36)和连接支架(37)，所述驱动电机(31)、所述滑动导轨(35)固定于所述密封盖板(33)上，所述滑动平台(36)与所述滑动导轨(35)滑动连接，所述驱动电机(31)与所述连接支架(37)传动连接，所述连接支架(37)与所述滑动平台(36)固定连接，所述驱动电机(31)驱动所述滑动平台(36)在所述滑动导轨(35)上滑动，所述可替换镜筒(13)和所述护罩(32)固定于所述滑动平台(36)，所述滑动平台(36)中心设置供激光通过的通孔，该通孔与所述激光透射模块(1)内的通孔同心。

6.根据权利要求5所述的一种真空激光透射镜片保护系统，其特征在于，所述滑动密封模块(3)包括第一密封圈(34)，所述第一密封圈(34)分别与所述可替换镜筒(13)和所述滑动平台(36)接触。

7.根据权利要求5所述的一种真空激光透射镜片保护系统，其特征在于，所述密封盖板(33)包括用于增大通光范围的腰圆孔(331)，所述腰圆孔(331)为条形孔，所述滑动平台(36)移动时，其上的通孔在所述腰圆孔(331)长度范围内移动。