[发明专利]核电应急柴油发电机活塞环及活塞环上润滑主体层的沉积方法在审
| 申请号： | 202210197190.5 | 申请日： | 2022-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN114540751A | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 李楠;王云霞;张广安;车银辉;李东山;王铭昌;李洋 | 申请（专利权）人： | 苏州热工研究院有限公司;中国科学院兰州化学物理研究所;中国广核集团有限公司;中国广核电力股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/35 |
| 代理公司： | 深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙) 44314 | 代理人： | 王少虹 |
| 地址： | 215008 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 核电 应急 柴油 发电机 活塞环 润滑 主体 沉积 方法 | ||
1.一种核电应急柴油发电机活塞环，其特征在于，包括活塞环本体、设置在所述活塞环本体外圈表面上的CKS镀层、设置在所述CKS镀层上的润滑层；所述润滑层的总厚度≤3μm；
所述润滑层包括过渡层以及通过所述过渡层结合在所述CKS镀层上的润滑主体层；所述润滑主体层为非晶碳基层或二硫化钼层。
2.根据权利要求1所述的核电应急柴油发电机活塞环，其特征在于，所述润滑主体层中掺有亲油性元素。
3.根据权利要求2所述的核电应急柴油发电机活塞环，其特征在于，所述亲油性元素包括钛和/或钨。
4.根据权利要求1所述的核电应急柴油发电机活塞环，其特征在于，所述润滑层的硬度小于14 GPa。
5.根据权利要求1所述的核电应急柴油发电机活塞环，其特征在于，所述润滑层通过闭合场非平衡磁控溅射技术沉积形成。
6.根据权利要求1所述的核电应急柴油发电机活塞环，其特征在于，所述过渡层的厚度为0.2μm～0.4μm。
7.根据权利要求1所述的核电应急柴油发电机活塞环，其特征在于，所述过渡层为铬、钛和碳的混合层，或者为铬、钛与二硫化钼的混合层。
8.一种活塞环上润滑层的沉积方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、在带有CKS镀层的活塞环本体上沉积过渡层，所述过渡层形成在所述CKS镀层上；
S2、通过闭合场非平衡磁控溅射技术在所述过渡层上沉积润滑主体层，并使所述过渡层和润滑主体层的总厚度≤3μm；
其中，以石墨靶或二硫化钼靶为靶材，以氩气作为工作气体，在所述过渡层表面沉积润滑主体层，所述润滑主体层为非晶碳基层或二硫化钼层。
9.根据权利要求8所述的活塞环上润滑层的沉积方法，其特征在于，步骤S2中，所述靶材还包括钛靶和/或碳化钨靶，所述润滑主体层为掺钛和/或掺钨的非晶碳基层，或者为掺钛和/或掺钨的二硫化钼层。
10.根据权利要求8所述的活塞环上润滑层的沉积方法，其特征在于，步骤S1之前还包括以下步骤：
S0、除去所述活塞环本体及CKS镀层表面的污渍，利用等离子体轰击清洗以及刻蚀所述CKS镀层表面污染物和氧化层。
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