[发明专利]高温氧化处理提高高丰度稀土永磁抗蚀性的方法

权利要求书

1.高温氧化处理提高高丰度稀土永磁抗蚀性的方法，其特征在于：通过高温氧化处理，在高丰度稀土永磁表面原位生长稀土氧化物薄层；

在热处理炉中进行高温氧化反应，温度控制在700～900℃，反应时间控制在3～5h，反应过程氧分压为0.01-10Pa；

所述高丰度稀土永磁的成分，以原子百分数计，为(RE_aRE’_1-a)_x(Fe_bM_1-b)_100-x-y-zM’_yB_z，RE为La、Ce、Y元素中的一种或几种，RE’为除La、Ce、Y以外的其它镧系元素中的一种或几种；Fe为铁元素，M为Co或Ni中的一种或两种；M’为Nb、Zr、Ta、V、Al、Cu、Ga、Ti、Cr、Mo、Mn、Ag、Au、Pb、Si元素中的一种或几种，B为硼元素；a、b、x、y、z满足以下关系：0.25≤a≤1、0.8≤b≤1、12≤x≤18、0≤y≤2、5.5≤z≤6.5。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述稀土氧化物薄层厚度在10nm～100μm间连续可调。