[发明专利]一种抛光液、磷化铟抛光装置及方法

权利要求书

1.一种抛光液，用于磷化铟的抛光，其特征在于，包括基液以及混合于基液中的金属粉末、磨料；所述金属粉末与磨料的质量比为1:2～1:4，所述金属粉末的金属性弱于铟；还包括用于促进金属和工件间电子转移效率的辅助剂，所述辅助剂与金属粉末的质量比为1:1～1:3。

2.根据权利要求1所述的一种抛光液，其特征在于，所述辅助剂包括空穴捕捉剂及电解质，所述空穴捕捉剂与电解质的质量比为1:1～1:3。

3.一种磷化铟抛光装置，其特征在于，包括机架(1)以及均设置于机架(1)上的抛光盘(2)、工件夹持组件(3)、抛光液供给组件(4)、第一驱动装置(5)、驱动组件(6)，所述第一驱动装置(5)与所述抛光盘(2)相连并驱动所述抛光盘(2)与工件夹持组件(3)相对转动，所述驱动组件(6)与所述工件夹持组件(3)相连并驱动所述工件夹持组件(3)相对于抛光盘(2)运动，所述抛光液供给组件(4)盛装有权利要求1至2任一项所述的抛光液，所述抛光液供给组件(4)设置有向所述抛光盘(2)的抛光面输送抛光液的输送管(41)，所述工件夹持组件(3)一端与所述机架(1)相连，另一端靠近所述抛光盘(2)的工作面且与工作面之间具有间隙。

4.根据权利要求3所述的一种磷化铟抛光装置，其特征在于，所述抛光液供给组件(4)包括蠕动泵(42)、盛放有抛光液的容器(43)，所述输送管(41)经所述蠕动泵(42)与所述容器(43)相连通。

5.根据权利要求4所述的一种磷化铟抛光装置，其特征在于，所述抛光液供给装置还包括搅拌装置(44)，所述搅拌装置(44)与所述容器(43)相连并对容器(43)内的抛光液进行搅拌。

6.根据权利要求3至5任一项所述的一种磷化铟抛光装置，其特征在于，所述机架(1)为设置有空腔(11)的箱体结构，所述抛光盘(2)、工件夹持组件(3)、抛光液供给组件(4)、第一驱动装置(5)均设置于所述空腔(11)中；还包括连通所述空腔(11)与外部环境的尾气处理系统(7)。

7.一种应用权利要求3至6任一项所述的磷化铟抛光装置的抛光方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：配制权利要求1至2任一项所述的抛光液，并放置于抛光液供给组件(4)中；

S2：将工件安装于工件夹持组件(3)上，且工件的待抛光面靠近所述抛光盘(2)的工作面；

S3：抛光液供给组件(4)将抛光液输送至抛光盘(2)的工作面；

S4：驱动组件(6)带动工件夹持组件(3)运动至工件与抛光盘(2)抵接，抛光盘(2)上的抛光液与工件表面发生金属接触腐蚀反应，在工件表面形成氧化层；

S5：第一驱动装置(5)带动抛光盘(2)转动，将工件表面的氧化层去除，得到抛光后的工件。

8.根据权利要求7所述的抛光方法，其特征在于，步骤S4中所述工件与抛光盘(2)抵接的压力为0.01～1MPa。

9.根据权利要求7或8所述的抛光方法，其特征在于，步骤S5中所述抛光盘(2)转动的转速为5rpm～150rpm。