[发明专利]一种基于全无机材料的钙钛矿太阳能电池的制作方法在审
| 申请号： | 202210203179.5 | 申请日： | 2022-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN114583011A | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 张迅;易伟华;程景伟 | 申请（专利权）人： | 江西沃格光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L31/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张影 |
| 地址： | 338004 江西省新余*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 无机 材料 钙钛矿 太阳能电池 制作方法 | ||
1.一种基于全无机材料的钙钛矿太阳能电池的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：
提供一衬底；
在所述衬底一侧依次形成透明导电氧化物膜层、电子传输层、钙钛矿光敏活性层、空穴传输层和背电极；
其中，所述电子传输层的材料为第一无机材料，所述空穴传输层的材料为第二无机材料。
2.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述透明导电氧化物膜层的材料为ITO材料或FTO材料。
3.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述透明导电氧化物膜层的加工方式为磁控溅射镀膜方式。
4.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述第一无机材料为TiO2或SnO2或ZnO或Nb2O5或Cr2O3或WO3。
5.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述电子传输层的加工方式为溶液旋涂法或溶液涂布法或溶液喷涂法或磁控溅射法。
6.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述钙钛矿光敏活性层的材料为CsPbIxBr3-x或CsSnIxBr3-x或CsPbIxCl3-x或CsSnIxCl3-x。
7.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述钙钛矿光敏活性层的加工方式为一步溶液旋涂法或二步溶液旋涂法或二步溶液浸涂法或溶液涂布法或溶液喷涂法或气相辅助沉积法或双源气相共蒸法或磁控溅射法。
8.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述第二无机材料为Cu2O或CuO或CuI或CuSCN或NiO或MoS或MoO3。
9.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述空穴传输层的加工方式为溶液旋涂法或溶液涂布法或溶液喷涂法或磁控溅射法。
10.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述背电极的材料为Au或Ag或Cu或Al或Ni。
11.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述背电极的加工方式为真空蒸发镀膜法或磁控溅射法。
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
