[发明专利]热式流量传感器及气体流量检测方法

权利要求书

1.一种热式流量传感器，其特征在于，用于检测气体流量，包括：

测流单元，形成在基底的表面，所述测流单元包括依次分立布置的上游热敏元件、加热电阻和下游热敏元件；

补偿单元，形成在所述基底的表面，所述补偿单元包括位于所述测流单元上游的上游环境电阻及和位于所述测流单元下游的下游环境电阻；

所述加热电阻用于通电加热所述上游热敏元件和所述下游热敏元件；

所述加热电阻还用于通电发热，以通过流动气体加热所述上游环境电阻和所述下游环境电阻中的一个。

2.根据权利要求1所述的热式流量传感器，其特征在于，所述热式流量传感器还包括：

导热层，形成在所述加热电阻的表面并与所述上游热敏元件和所述下游热敏元件的热端相接触。

3.根据权利要求1所述的热式流量传感器，其特征在于，所述基底的背面设有腔体，所述腔体位于所述基底对应所述加热电阻的位置。

4.根据权利要求3所述的热式流量传感器，其特征在于，所述上游热敏元件和所述下游热敏元件的热端位于所述基底对应所述腔体的位置。

5.根据权利要求3所述的热式流量传感器，其特征在于，所述基底包括衬底，所述衬底的表面设有支撑层，所述测流单元和所述补偿单元位于所述支撑层上，所述衬底的背面设有所述腔体并暴露所述支撑层。

6.根据权利要求1所述的热式流量传感器，其特征在于，所述加热电阻上设有通孔，用于形成并联结构，以减小所述加热电阻的阻值。

7.根据权利要求1所述的热式流量传感器，其特征在于，所述补偿单元还用于通电发热形成高温，以去除热式流量传感器表面的水汽和气体残留。

8.根据权利要求7所述的热式流量传感器，其特征在于，所述上游环境电阻和所述下游环境电阻为蛇形结构。

9.一种气体流量检测方法，应用于权利要求1-8任一项所述的热式流量传感器，其特征在于，包括流量检测的步骤，该步骤具体包括：

确定目标气流的流向；

根据确定的目标气流的流向，确定位于目标气流下游的热敏元件和环境电阻的温度是否同时升高；

若是，则以位于流动气体上游的环境电阻的温度作为环境温度，进行温度补偿。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，在流量检测之后，所述方法还包括清洁的步骤，该步骤具体包括：

在补偿单元中通过电流，以使所述补偿单元发热形成高温，去除热式流量传感器表面的水汽和气体残留。