[发明专利]一种离子泵隔振装置及其使用方法

权利要求书

1.一种离子泵隔振装置，其用于衰减和隔离离子泵与带电粒子光学设备之间的振动，其特征在于，包括隔振件和支撑连接件，所述隔振件包括隔振连接器和分别连接于所述隔振连接器两端的密封法兰，两个密封法兰分别用于与所述离子泵和带电粒子光学设备连接，所述支撑连接件的两端分别可拆卸的连接两个所述密封法兰，以提供两个密封法兰之间的刚性支撑。

2.根据权利要求1所述的离子泵隔振装置，其特征在于，所述支撑连接件包括至少一个支撑连杆，所述可拆卸连接为螺纹连接。

3.根据权利要求2所述的离子泵隔振装置，其特征在于，两个所述密封法兰分别设有至少一个连接部，所述支撑连杆的两端对应连接于两个相对应的连接部。

4.根据权利要求3所述的离子泵隔振装置，其特征在于，所述支撑连杆的两端形成有外螺纹，两个相对应的所述连接部中的一个形成有螺纹孔，另一个形成有安装槽，所述支撑连杆的一端螺纹连接于所述螺纹孔，另一端设置于安装槽内并通过螺母锁紧。

5.根据权利要求3所述的离子泵隔振装置，其特征在于，所述支撑连接件包括多个支撑连杆，多个所述支撑连杆沿所述密封法兰周向均匀分布。

6.根据权利要求1所述的离子泵隔振装置，其特征在于，所述隔振连接器为波纹管。

7.根据权利要求1所述的离子泵隔振装置，其特征在于，所述波纹管为成形波纹管或焊接波纹管。

8.根据权利要求1所述的离子泵隔振装置，其特征在于，所述带电粒子光学设备为电子显微镜或聚焦离子束装置。

9.根据权利要求1所述的离子泵隔振装置，其特征在于，所述波纹管与两端的密封法兰焊接固定或一体成型。

10.一种离子泵隔振装置的使用方法，其特征在于，应用于所述权利要求1至9任一项所述的离子泵隔振装置，包括：

不需要隔离离子泵振动时，将两个法兰之间通过所述支撑连接件刚性连接；

需要隔离离子泵振动时，将所述支撑连接件拆除。