[发明专利]一种低成本的高温度均匀性加热板

说明书

本发明公开了一种低成本的高温度均匀性加热板，包括预冷箱盖板，所述便捷拆装机构、绝热限位机构和发热机构，所述便捷拆装机构的上端设置有绝热限位机构，且绝热限位机构的内部贯穿有发热机构，所述便捷拆装机构包括镂空铣槽、第一螺槽、氮化硼板、第二螺槽和第一螺栓。该低成本的高温度均匀性加热板，镂空铣槽部位安装红外发热带丝后，通过高温绝热胶密封镂空铣槽，由于红外发热带丝在镂空铣槽内部均匀分布，因此氮化硼板热面温度均匀性较好，保温效果好，使用寿命长，同时升温迅速，红外热能转换效率高，绝热板通过固定孔与第二螺栓固定于镂空铣槽表面，红外发热带丝两端通过纯镍棒焊接后纯镍棒由通孔穿出绝热板，用于接电。

技术领域

本发明涉及加热板技术领域，具体为一种低成本的高温度均匀性加热板。

背景技术

现有半导体和OLE类生产设备用加热板有三类，一类为共烧型陶瓷加热板，第二类为金属加热板，第三类为真空镀膜加热板。共烧型陶瓷加热板是将高温合金丝预埋进陶瓷坯体中，经1000-1100度高温烧结而成。其生产工艺分为石膏模具制作、陶瓷浆料制备、电阻丝缠布、浇注成型、烘干脱模、烧制、配件组装等，生产周期长，工艺复杂，系劳动密集型产品；陶瓷加热板有实心和空心两种，但无论哪种都无法在产品中添加保温绝热隔层，所以该产品的工作面和非工作面都一起发热，能源利用率低，热面温度误差高达 10度以上；金属加热板是将高温合金丝制成加热管，穿进金属板中，浇筑在金属板中，该产品应为通过加热管为热源，金属加热板发热不均，热面温度误差高达10度以上，同时金属加热板在高温状况会出现板面变形；真空镀膜加热板是在氮化硅或氮化硼板上，通过真空溅射或真空沉积工艺制造把钨钼或石墨材料做成发热层，最后再通过真空溅射或真空沉积工艺制造把氮化硅或氮化硼板材料全面包覆发热层，从而做成加热板，该产品生产周期长，工艺复杂，成本高，同时加热板面积不能做大。

由共烧型陶瓷加热板、金属加热板与真空镀膜加热板可知，现有的加热板能源利用率低，热面温度均匀性差，造价成本高等问题普遍存在，为此，我们提出一种低成本的高温度均匀性加热板。

发明内容

本发明的目的在于提供一种低成本的高温度均匀性加热板，以解决上述背景技术中提出的由共烧型陶瓷加热板、金属加热板与真空镀膜加热板可知，现有的加热板能源利用率低，热面温度均匀性差，造价成本高等问题普遍存在的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种低成本的高温度均匀性加热板，包括便捷拆装机构、绝热限位机构和发热机构，所述便捷拆装机构的上端设置有绝热限位机构，且绝热限位机构的内部贯穿有发热机构，所述便捷拆装机构包括镂空铣槽、第一螺槽、氮化硼板、第二螺槽和第一螺栓，且镂空铣槽的底部内侧设置有第一螺槽，所述镂空铣槽的下方设置有氮化硼板，且氮化硼板的内部两侧设置有第二螺槽，所述第二螺槽的下方设置有第一螺栓。

进一步的，所述镂空铣槽与第一螺槽之间为一体结构，且第一螺槽与第二螺槽之间等宽。

进一步的，所述氮化硼板与第二螺槽之间为一体结构，且第二螺槽与第一螺栓之间为螺纹连接。

进一步的，所述绝热限位机构包括绝热板、固定孔、第二螺栓和通孔，且绝热板的表面左侧设置有固定孔，所述固定孔的前端设置有第二螺栓，且固定孔的右侧设置有通孔。

进一步的，所述第二螺栓贯穿于固定孔内部，且绝热板与固定孔之间为固定连接。

进一步的，所述固定孔与通孔的水平中轴线相重合，且发热机构嵌合于通孔内部。

进一步的，所述发热机构包括红外发热带丝和纯镍棒，且红外发热带丝的端部设置有纯镍棒。

进一步的，所述红外发热带丝在便捷拆装机构内部均匀分布，且红外发热带丝与便捷拆装机构之间相胶合。

进一步的，所述红外发热带丝与纯镍棒之间为焊接连接，且纯镍棒设置有一组。