[发明专利]刻蚀终点检测方法及装置

权利要求书

1.一种刻蚀终点检测方法，其特征在于，包括：

根据刻蚀脉冲信号的上升沿、光谱仪积分时间和光谱仪信号确定正向光谱积分数据；

根据刻蚀脉冲信号的下降沿、所述光谱仪积分时间和所述光谱仪信号确定负向光谱积分数据；

根据所述正向光谱积分数据和所述负向光谱积分数据确定目标光谱信号数据；

根据所述目标光谱信号数据检测刻蚀终点。

2.根据权利要求1所述的刻蚀终点检测方法，其特征在于，还包括：

根据光谱仪最小积分时间、刻蚀脉冲正向周期和刻蚀脉冲负向周期确定所述光谱仪积分时间。

3.根据权利要求2所述的刻蚀终点检测方法，其特征在于，根据光谱仪最小积分时间、刻蚀脉冲正向周期和刻蚀脉冲负向周期确定所述光谱仪积分时间包括：

根据刻蚀脉冲正向周期与刻蚀脉冲负向周期的比较结果确定目标刻蚀脉冲周期；

根据所述目标刻蚀脉冲周期与所述光谱仪最小积分时间的比较结果确定所述光谱仪积分时间。

4.根据权利要求3所述的刻蚀终点检测方法，其特征在于，根据所述目标刻蚀脉冲周期与所述光谱仪最小积分时间的比较结果确定所述光谱仪积分时间包括：

当所述光谱仪最小积分时间小于或等于所述目标刻蚀脉冲周期时，根据所述目标刻蚀脉冲周期确定所述光谱仪积分时间；

当所述光谱仪最小积分时间大于所述目标刻蚀脉冲周期时，根据所述光谱仪最小积分时间和所述目标刻蚀脉冲周期确定周期系数，根据所述周期系数和所述目标刻蚀脉冲周期确定所述光谱仪积分时间。

5.一种刻蚀终点检测装置，其特征在于，包括：

正向光谱积分数据模块，用于根据刻蚀脉冲信号的上升沿、光谱仪积分时间和光谱仪信号确定正向光谱积分数据；

负向光谱积分数据模块，用于根据刻蚀脉冲信号的下降沿、所述光谱仪积分时间和所述光谱仪信号确定负向光谱积分数据；

目标光谱信号数据模块，用于根据所述正向光谱积分数据和所述负向光谱积分数据确定目标光谱信号数据；

刻蚀终点检测模块，用于根据所述目标光谱信号数据检测刻蚀终点。

6.根据权利要求5所述的刻蚀终点检测装置，其特征在于，还包括：

光谱仪积分时间模块，用于根据光谱仪最小积分时间、刻蚀脉冲正向周期和刻蚀脉冲负向周期确定所述光谱仪积分时间。

7.根据权利要求6所述的刻蚀终点检测装置，其特征在于，所述光谱仪积分时间模块包括：

目标刻蚀脉冲周期单元，用于根据刻蚀脉冲正向周期与刻蚀脉冲负向周期的比较结果确定目标刻蚀脉冲周期；

光谱仪积分时间单元，用于根据所述目标刻蚀脉冲周期与所述光谱仪最小积分时间的比较结果确定所述光谱仪积分时间。

8.根据权利要求7所述的刻蚀终点检测装置，其特征在于，所述光谱仪积分时间单元具体用于：

当所述光谱仪最小积分时间小于或等于所述目标刻蚀脉冲周期时，根据所述目标刻蚀脉冲周期确定所述光谱仪积分时间；

当所述光谱仪最小积分时间大于所述目标刻蚀脉冲周期时，根据所述光谱仪最小积分时间和所述目标刻蚀脉冲周期确定周期系数，根据所述周期系数和所述目标刻蚀脉冲周期确定所述光谱仪积分时间。

9.一种计算机设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并在处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求1至4任一项所述的刻蚀终点检测方法的步骤。

10.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至4任一项所述的刻蚀终点检测方法的步骤。