[发明专利]钛灰色镀膜的制备工艺在审
申请号: | 202210211064.0 | 申请日: | 2022-03-03 |
公开(公告)号: | CN114561618A | 公开(公告)日: | 2022-05-31 |
发明(设计)人: | 谭振华;刘庆生;何昊;李振涛;李伟良 | 申请(专利权)人: | 佛山市高明区捷丰裕金属制品有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/16;C23C14/02;C23C14/58 |
代理公司: | 东莞市卓易专利代理事务所(普通合伙) 44777 | 代理人: | 张静 |
地址: | 528000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 灰色 镀膜 制备 工艺 | ||
1.钛灰色镀膜的制备工艺,其特征在于,所述钛灰色镀膜的制备工艺包括如下步骤:
S1,准备原料,提供一个需要镀膜的金属板材,并将金属板材放置在一旁备用;
S2,清洗,通过清洗液对所述金属板材进行清洗,然后再进行超声波清洗,从而确保所述金属板材的表面没有杂质,保证镀膜效果;
S3,板材活化,然后将所述金属板材放入真空室内,随后将真空室抽至10Pa真空,随后启动高压变压器,这时空气在辉光放电的状况下被电离成等离子,这时通过等离子轰击金属板材,从而活化金属板材;
S4,真空镀膜,随后将所述金属板材放入真空蒸发室内,然后将真空蒸发室抽真空,然后往真空蒸发室内通入反应气体,然后在80-120℃下进行真空蒸发镀膜处理120-150min,得到带有钛灰色镀膜的金属板材;
S5,光固化处理,随后采用紫外线所述带有钛灰色镀膜的金属板材进行光固化处理,得到成品钛灰色镀膜金属板材。
2.根据权利要求1所述的钛灰色镀膜的制备工艺,其特征在于:在S2步骤中,所述清洗液的pH值为10-12。
3.根据权利要求1所述的钛灰色镀膜的制备工艺,其特征在于:在S3步骤中,所述高压变压器的输出电压为3100-3800V,所述高压变压器的输出电流为3-5A。
4.根据权利要求1所述的钛灰色镀膜的制备工艺,其特征在于:在S4步骤中,所述真空蒸发室的轰击电压为16A-20A。
5.根据权利要求1所述的钛灰色镀膜的制备工艺,其特征在于:在S4步骤中,所述真空蒸发室中的靶材为钛铝。
6.根据权利要求1所述的钛灰色镀膜的制备工艺,其特征在于:在S4步骤中,所述反应气体包括AR、N2和C2H2,所述AR的流量为80-150scmm,所述N2的流量为100-150scmm,所述C2H2的流量为1200-1600scmm。
7.根据权利要求1所述的钛灰色镀膜的制备工艺,其特征在于:在S5步骤中,所述紫外线的工作功率为1200W-2200W,所述光固化处理的时间为80min-120min。
8.根据权利要求1所述的钛灰色镀膜的制备工艺,其特征在于:在S2步骤中,所述超声波清洗的时间为30-70min。
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