[发明专利]一种用于亚毫米波天线实时面形检测的面板边缘传感器系统及其使用方法

权利要求书

1.一种用于亚毫米波天线实时面形检测的面板边缘传感器系统，其特征在于，包括光源模块和探测器模块；

所述光源模块和探测器模块均包括壳矩形壳体；

光源模块的壳体内部竖向设有三个预置的挡光片卡槽以及若干设有中心针孔的挡光环；

光源模块的壳体内设有LED光源，且针对光源的发光功率和光源到探测器模块中探测器芯片的距离，选择挡光片的针孔直径、挡光片数量及其放置的卡槽位置完成挡光片放置；

所述探测器模块的壳体内部竖向设有若干挡光环和探测器芯片；

光源模块中LED光源发出的光束经过挡光片针孔后打在探测器芯片上，探测器芯片实时读出光斑中心位置坐标。

2.根据权利要求1所述的一种用于亚毫米波天线实时面形检测的面板边缘传感器系统，其特征在于，光源模块的壳体内针对光源的发光功率和光源到探测器模块中探测器芯片的距离，选择挡光片的针孔直径、挡光片数量及其放置的卡槽位置完成挡光片放置，实现准直光束的发散由衍射效应主导，从而在探测器芯片上获得理想的对称光斑。

3.根据权利要求1所述的一种用于亚毫米波天线实时面形检测的面板边缘传感器系统，其特征在于，所述探测器芯片使用基于光电效应的位置敏感探测器PSD。

4.根据权利要求1所述的一种用于亚毫米波天线实时面形检测的面板边缘传感器系统，其特征在于，所述挡光环设置于整个所述壳体内部，以吸收光源的反射光和来自空气中的杂散光。

5.根据权利要求1所述的一种用于亚毫米波天线实时面形检测的面板边缘传感器系统，其特征在于，所述壳体均涂覆吸光黑膜，以降低杂散光对精度产生的影响。

6.根据权利要求1所述的一种用于亚毫米波天线实时面形检测的面板边缘传感器系统，其特征在于，所述光源到探测器芯片的距离为100mm-200mm。

7.根据权利要求1所述的一种用于亚毫米波天线实时面形检测的面板边缘传感器系统，其特征在于，所述挡光片的中心针孔，其直径为0.1mm-1mm，以保证光源经过针孔后射在探测器芯片上的光斑直径符合探测器的要求，并且不会出现欠曝光或者过曝光的情况。

8.根据权利要求1所述的一种用于亚毫米波天线实时面形检测的面板边缘传感器系统，其特征在于，所述挡光片的厚度为1mm。

9.根据权利要求1所述的一种用于亚毫米波天线实时面形检测的面板边缘传感器系统，其特征在于，所述挡光环的高度和环与环之间的间隔设计为4mm。

10.如权利要求1-9任一所述的一种用于亚毫米波天线实时面形检测的面板边缘传感器系统的使用方法，其特征在于，包括：

步骤1：针对光源的发光功率和光源到探测器模块中探测器芯片的距离，选择挡光片的针孔直径、挡光片数量及其放置的卡槽位置完成挡光片放置；

步骤2：分别将光源模块和探测器模块固定在高精度平移台上，整个系统固定在光学平台上；

步骤3：控制高精度平移台沿各个方向移动，比较高精度平移台移动距离和探测器芯片上光斑中心位置的变化量，实现相邻面板实时位移检测并验证边缘传感器在实际测量中的精度；

步骤4：加入环境光，比较不同环境光下光斑中心位置的变化，验证边缘传感器的抗噪性。