[发明专利]一种提高深紫外光电探测器性能的方法有效

专利信息
申请号: 202210213408.1 申请日: 2022-03-04
公开(公告)号: CN114592239B 公开(公告)日: 2023-03-31
发明(设计)人: 潘书生;白凯磊;范梓豪;祝梓博 申请(专利权)人: 广州大学
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 北京高航知识产权代理有限公司 11530 代理人: 刘艳玲
地址: 510006 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 提高 深紫 光电 探测器 性能 方法
【权利要求书】:

1.一种提高深紫外光电探测器性能的方法,其特征在于,包括以下步骤:

1)将N,N-二甲基甲酰胺和二甲基亚砜混匀,制得5毫升混合溶液;

2)将原料1.299g碘化铯和0.952g碘化亚铜加入到上述混合溶液中,进行搅拌;

3)将无水甲醇缓慢滴加到上述溶液中,直到白色沉淀不再消失;

4)然后用过滤器过滤掉白色沉淀,并将饱和溶液转移到一个小瓶中;

5)将装有饱和溶液的小瓶子放在装有适量无水甲醇的大烧杯中;

6)最后将整个装置放置在加热板上,直到晶体生长1-3天停止生长;

7)最后将生长得到的CsCu2I3单晶清洗干净;

8)将清洗好的CsCu2I3单晶进行烘干,然后用水浸泡不同时间再次烘干后固定在载玻片上,涂上银浆形成肖特基接触,露出中间部分作为光敏面,将整个器件放到加热板上,待银浆完全蒸干后,制得光电探测器并对其进行光电性能测量。

2.根据权利要求1所述的一种提高深紫外光电探测器性能的方法,其特征在于,所述CsCu2I3单晶由反溶剂蒸汽辅助法制得。

3.根据权利要求1所述的一种提高深紫外光电探测器性能的方法,其特征在于,所述步骤1中N,N-二甲基甲酰胺和二甲基亚砜的混合体积比为4:1。

4.根据权利要求1所述的一种提高深紫外光电探测器性能的方法,其特征在于,所述步骤2中需在60℃磁力不断搅拌下直至得到清澈的溶液。

5.根据权利要求1所述的一种提高深紫外光电探测器性能的方法,其特征在于,所述步骤5中需要用塑料膜密封,用于防止溶液挥发。

6.根据权利要求1所述的一种提高深紫外光电探测器性能的方法,其特征在于,所述步骤6中的加热板温度保持在60℃。

7.根据权利要求1所述的一种提高深紫外光电探测器性能的方法,其特征在于,所述步骤7中的CsCu2I3单晶用乙醇和正己烷进行清洗。

8.根据权利要求1所述的一种提高深紫外光电探测器性能的方法,其特征在于,所述步骤8中的烘干装置为烘箱。

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