[发明专利]一种高效测量平面内孔组形位误差的接触式测量仪

权利要求书

1.一种高效测量平面内孔组形位误差的接触式测量仪，其特征在于：包括三坐标运动平台（1）、测头（2）和测头固定板（3），所述的三坐标运动平台（1）上设置有移动支架，移动支架上通过移动杆连接有测头固定板（3），测头固定板（3）的下表面设置有若干个测头（2），各个测头（2）的轴线与被测工件（18）上被测孔（19）的轴线对齐。

2.根据权利要求1所述的一种高效测量平面内孔组形位误差的接触式测量仪，其特征在于：所述测头（2）包括上壳体（7），上壳体（7）圆周上设置有一个引线孔，上壳体（7）内设置有位置测量装置（6），位置测量装置（6）的底部上壳体（7）外设置有孔径测量装置（8），顶部中心上壳体（7）外设置有磁块（4），围绕磁块（4）的圆周上均布设置有支撑球（5）；测头（2）利用均匀布置的支撑球（5）实现测头（2）在测头固定板（3）上的定位；利用磁块（4）与测头固定板（3）之间的磁力实现固定。

3.根据权利要求2所述的一种高效测量平面内孔组形位误差的接触式测量仪，其特征在于： 所述的位置测量装置（6）包括二维平面柔性铰链（9）、二维平面柔性铰链（9）的上端为固定端，下端为移动端，其可在力的作用下产生相对于上端的二维微位移运动，固定端的下表面中心设置有光源（10）、移动端的上表面中心设置有光电传感器（11），光源（10）与光电传感器（11）的位置可互换。

4.根据权利要求2所述的一种高效测量平面内孔组形位误差的接触式测量仪，其特征在于：所述的孔径测量装置（8）包括下壳体（12），下壳体（12）的中心设置有“T”型孔，“T”型孔的下端孔内间隙配合有定心移动杆（15），上端孔内设置有位移传感器（14），位移传感器（14）与“T”型孔的孔壁之间设置有位移传感器卡环（13），下壳体（12）的下端圆周壁上通过若干个弧形簧片（16）与定心移动杆（16）的下端圆周壁连接，弧形簧片（16）的中部外壁上设置有球面触头（17），孔径测量装置（8）的下壳体（12）与二维平面柔性铰链（9）的移动端固连。

5.根据权利要求3或4所述的一种高效测量平面内孔组形位误差的接触式测量仪，其特征在于：所述测头（2）根据被测工件（18）图样上被测孔（19）的位置和数量安装在测头固定板（3）上，实现多个测头连接固定，形成测头组，各个测头（2）根据被测工件（18）组孔的位置关系，事先调节其在测头固定板（3）上的位置。

6.根据权利要求5所述的一种高效测量平面内孔组形位误差的接触式测量仪，其特征在于：所述测头（2）可根据孔径测量装置（8）的大小分为不同的规格，供不同直径的被测孔（19）选择。

7.根据权利要求6所述的一种高效测量平面内孔组形位误差的接触式测量仪，其特征在于：所述的支撑球（5）均布设置有3个。

8.根据权利要求7所述的一种高效测量平面内孔组形位误差的接触式测量仪，其特征在于：所述的弧形簧片（16）均布设置有3个。

9.根据权利要求8所述的一种高效测量平面内孔组形位误差的接触式测量仪，其特征在于：所述的光电传感器（11）为PSD或CCD。