[发明专利]一种大功率射频电源在审
| 申请号： | 202210229381.5 | 申请日： | 2022-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN114567276A | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 张翔 | 申请（专利权）人： | 张翔 |
| 主分类号： | H03F3/68 | 分类号： | H03F3/68;H03F3/20;H03F3/189;H03F1/52;H03F1/56;H03F1/30 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 101100 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 大功率 射频 电源 | ||
【权利要求书】：
1.一种大功率射频电源，包括射频输入端和射频输出端，其特征在于：所述射频输入端和射频输出端之间并联设置至少两组功率模组（1），每个所述功率模组（1）内串联设置滤波器（12）、降压器（14）和功率放大器（16）。
2.根据权利要求1所述的一种大功率射频电源，其特征在于：所述降压器（14）内设置转换器（15），所述转换器（15）与转换控制器（13）相连接，所述转换控制器（13）与滤波器（12）相连接，转换控制器（13）还与功率放大器（16）相连接。
3.根据权利要求2所述的一种大功率射频电源，其特征在于：所述转换控制器（13）内设置CPU（131）和脉冲发生器（132），所述CPU（131）通过信号线与脉冲发生器（132）相连接，脉冲发生器（132）分别与转换器（15）及功率放大器（16）相连接。
4.根据权利要求1所述的一种大功率射频电源，其特征在于：所述至少两组功率模组（1）的输出端与射频输出端通过耦合器（2）耦合。
5.根据权利要求1所述的一种大功率射频电源，其特征在于：所述至少两组功率模组（1）的输出端和与射频输出端之间串联设置阻抗调整单元（3）和射频滤波单元（4）。
6.根据权利要求1所述的一种大功率射频电源，其特征在于：所述滤波器（12）的输入端和输出端分别设置若干个功率因数改善组件。
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