[发明专利]一种纳米级弹性调节平台装置及其应用方法

权利要求书

1.一种纳米级弹性调节平台装置，其特征在于，包括有表面敏感检测环(1)和纳米压头(2)，所述表面敏感检测环(1)的端部嵌设有微电磁阀(3)，所述纳米压头(2)设于所述表面敏感检测环(1)的内侧，所述纳米压头(2)穿过所述微电磁阀(3)。

2.如权利要求1所述的纳米级弹性调节平台装置，其特征在于，所述表面敏感检测环(1)为压电陶瓷管。

3.一种纳米级弹性调节平台装置的应用方法，其特征在于，所述纳米级弹性调节平台装置包括有表面敏感检测环(1)和纳米压头(2)，所述表面敏感检测环(1)的端部嵌设有微电磁阀(3)，所述纳米压头(2)设于所述表面敏感检测环(1)的内侧，所述纳米压头(2)穿过所述微电磁阀(3)，所述应用方法包括如下步骤：

步骤S1，驱使所述表面敏感检测环(1)运动，并使得所述纳米压头(2)靠近样品，同时控制所述微电磁阀(3)启动，利用所述微电磁阀(3)将所述纳米压头(2)锁定于所述表面敏感检测环(1)上；

步骤S2，当所述表面敏感检测环(1)接触样品并且采集到接触力时，控制所述微电磁阀(3)关闭，进而解除对所述纳米压头(2)的锁定；

步骤S3，驱使所述纳米压头(2)运动，使所述纳米压头(2)的端部向所述表面敏感检测环(1)的外侧伸出，借由所述压头对样品进行纳米压痕测试。

4.如权利要求3所述的纳米级弹性调节平台装置的应用方法，其特征在于，所述步骤S1中，利用预设的驱动装置驱使所述表面敏感检测环(1)和所述纳米压头(2)运动。

5.如权利要求3所述的纳米级弹性调节平台装置的应用方法，其特征在于，所述步骤S1中，利用预设的控制器控制所述微电磁阀(3)启停。