[发明专利]一种高效低磷阻垢缓蚀剂及其制备方法

权利要求书

1.一种高效低磷阻垢缓蚀剂，其特征在于，包括按质量份数计的如下组分：有机膦5-15份、磺酸盐共聚物5-20份、羧酸类聚合物10-18份、丙烯酸-2-丙烯酰胺-2-甲基丙磺酸-甲基丙烯酸乙酰乙酸乙酯三元共聚物10-20份、三乙醇胺8-12份、氯化锌5-15份、去离子水0-57份。

2.根据权利要求1所述的一种高效低磷阻垢缓蚀剂，其特征在于，包括按质量份数计的如下组分：有机膦7-15份、磺酸盐共聚物10-20份、羧酸类聚合物10-15份、丙烯酸-2-丙烯酰胺-2-甲基丙磺酸-甲基丙烯酸乙酰乙酸乙酯三元共聚物15-20份、三乙醇胺8-10份、氯化锌5-10份、去离子水10-45份。

3.根据权利要求1所述的一种高效低磷阻垢缓蚀剂，其特征在于，包括按质量份数计的如下组分：有机膦12-15份、磺酸盐共聚物15-18份、羧酸类聚合物10-12份、丙烯酸-2-丙烯酰胺-2-甲基丙磺酸-甲基丙烯酸乙酰乙酸乙酯三元共聚物17份、三乙醇胺10份、氯化锌8份、去离子水20-28份。

4.根据权利要求1所述的一种高效低磷阻垢缓蚀剂，其特征在于，所述有机膦为2-羟基膦酰基乙酸、多氨基多醚基亚甲基膦酸中的一种或多种的混合物。

5.根据权利要求1所述的一种高效低磷阻垢缓蚀剂，其特征在于，所述磺酸盐共聚物为丙烯酸-2-丙烯酰胺-2-甲基丙磺酸-丙烯酸羟丙酯三元共聚物、马来酸-2-丙烯酰胺-2-甲基丙磺酸-甲基丙烯酸羟乙酯三元共聚物、马来酸-2-丙烯酰胺-2-甲基丙磺酸-醋酸乙烯酯三元共聚物中的一种或多种的混合物。

6.根据权利要求1所述的一种高效低磷阻垢缓蚀剂，其特征在于，所述羧酸类聚合物为聚环氧琥珀酸、聚天冬氨酸中的一种或多种的混合物。

7.一种如权利要求1-6任一项所述的高效低磷阻垢缓蚀剂的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一：按高效低磷阻垢缓蚀剂的重量份称取原料；

步骤二：将称取的氯化锌和去离子水依次加入搅拌的反应容器；

步骤三：待氯化锌溶解完全，依次加入计量的有机磷、磺酸盐共聚物、羧酸类聚合物、丙烯酸-2-丙烯酰胺-2-甲基丙磺酸-甲基丙烯酸乙酰乙酸乙酯三元共聚物和三乙醇胺继续搅拌；

步骤四：在室温下均匀搅拌20～30min，得到高效低磷阻垢缓蚀剂。